Zusammenfassung
Der Nutzen der passiven optischen Plasmadiagnostik in der Entwicklungs- und Optimierungsphase einer Oberflächenbehandlung besteht darin, durch die Detektion von Emissionslinien, die durch innere Wechselwirkungen im Plasma entstehen, eine zeitlich unmittelbare Zustandsinformationen zu erhalten. Mittels dieser Meßgrößen läßt sich die Prozeßführung direkt auf die phänomenologische Wirkung relevanter Parameter zurückzufuhren. Solche Zusammenhänge lassen sich sowohl für Intensitätsverläufe als auch für die Quotienten ausgesuchter Atom- oder Molekülemissionen aufzeigen.
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© 1998 Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg
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Stratil, P. (1998). Charakterisierung eines Plasmaprozesses: praktische Anwendung der passiven optischen in situ-Plasmadiagnostik. In: Optische in situ Meßtechniken bei der Entwicklung und Anwendung von plasmaunterstützten Oberflächentechniken für räumlich ausgedehnte und komplexe Geometrien. IPA-IAO - Forschung und Praxis, vol 265. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47916-8_6
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-47916-8_6
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Print ISBN: 978-3-540-64400-2
Online ISBN: 978-3-642-47916-8
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