Zusammenfassung
Im gesamten Plasmavolumen werden Moleküle und Atome durch Stöße mit energiereichen Elektronen dissoziiert und angeregt. Als Folge davon werden einzelne Teilchen sehr reaktiv und wechselwirken mit anderen Teilchen in der Gasphase oder an der Oberfläche eines Festkörpers; das Plasma läßt sich dann für verschiedenste Aufgaben bei der Oberflächenbehandlung einsetzen.
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© 1998 Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg
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Stratil, P. (1998). Basis der in situ-Plasmadiagnostik. In: Optische in situ Meßtechniken bei der Entwicklung und Anwendung von plasmaunterstützten Oberflächentechniken für räumlich ausgedehnte und komplexe Geometrien. IPA-IAO - Forschung und Praxis, vol 265. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47916-8_4
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-47916-8_4
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