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Herzog, O. (1997). Literatur. In: Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben. IPA-IAO - Forschung und Praxis, vol 255. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47908-3_9
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