Zusammenfassung
Die traditionelle Werkzeugbeschichtung mit PVD-Verfahren wird bei einer Beschichtungstemperatur von ca. 400 – 550 °C ausgeführt. Sollen Kunststoffe oder Stähle, die thermisch nur niedrig belastet werden dürfen, beschichtet werden, so ist eine wesentliche Aufgabe in der Prozeß-und Schichtentwicklung die Ausführung der Beschichtung bei niederen Temperaturen (< 200°C). Daneben sind Fragen der gleichmäßigen 3D-Beschichtung und des Übertragens der Prozeßtechnik auf große Anlagen (up-scale) zu lösen. Für viele tribologische Anwendungen ist ein Verschleißschutz durch PVD-Schichten nicht ausreichend. Besonders zu beachten ist, daß viele PVD-Schichten keinen genügenden Korrosionsschutz bieten.
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Olbrich, W. (1994). Entwicklungsbedarf in der PVD-Technologie. In: Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren. IPA-IAO — Forschung und Praxis, vol 202. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47892-5_2
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