Zusammenfassung
Die positiven Wirkungen dieser neuen Verfahrenskomponente auf die Beschichtungsqualität können bei den Niederternperatur-Beschichtungsverfahren einen Schritt zu weiteren Anwen-dungen darstellen. Es wird erwartet, daß diese Technologie insbesondere bei Metallisierungen Verbesserungen der Schichtsysteme schaffen und neue Einsatzmöglichkeiten zulassen wird. Das Verfahren wird momentan in mehreren Unternehmen erfolgreich getestet.
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Olbrich, W. (1994). Ausblick. In: Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren. IPA-IAO — Forschung und Praxis, vol 202. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47892-5_11
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