Analyse der Randbedingungen zur Prüfung der Partikelreinheit technischer Oberflächen

Zusammenfassung

Bei einer Partikelmessung auf Oberflächen sind die Teilchen im Regelfall unregelmäßig geformt und ihre Abmessungen nicht eindeutig beschreibbar. Zur eindeutigen Kenn zeichnung der Partikel werden unterschiedliche Merkmale detektiert /61/. Diese Partikelmerkmale müssen somit in einer Weise gemessen werden, die ein Maximum an Information über das reale Teilchen bietet. Um unregelmäßig geformte Teilchen realitätsnah zu beschreiben, hat sich die Angabe von Äquivalentdurchmessern als anschaulich erwiesen. Darunter versteht man den Durchmesser einer Kugel, die bei der Ermittlung eines bestimmten Partikelmerkmals dieselben physikalischen Eigenschaften aufweist wie das reale Teilchen. Die Analyse der detektierbaren Partikelmerkmale für eine Partikelmessung auf Oberflächen ist in Bild 3.1 zusammengefaßt.