Berücksichtigung spezieller Geometrien

Zusammenfassung

In Kap. 2 wurde darauf hingewiesen, daß es sich bei den hier zu betrachtenden Leitungsgeometrien um “einfache, stets wiederkehrende Strukturen” handelt. Diese Strukturen bestehen neben geraden und parallelen Leitungen im wesentlichen aus Leitungsknicken, Verzweigungen, Weitenänderungen, leerlaufenden sowie ggf. kurzgeschlossenen Leitungen und aus Durchkontaktierungen. Darüberhinaus findet man bei Mehrlagenverdrahtungen häufig sich kreuzende Leitungen bzw. Leitungssysteme, und schließlich hat man es bei integrierten Schaltungen aufgrund der i.a. recht unebenen Chipoberflächen oft mit Leitbahnen zu tun, deren Abstand zum Substrat ständig wechselt. Alle diese Strukturen führen letztlich zu Inhomogenitäten der Leitungsbeläge, was bei der Simulation mehr oder weniger stark berücksichtigt werden muß.