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Der MIS-Varaktor

  • Günther Kesel
  • Jürgen Hammerschmitt
  • Eckhard Lange
Part of the Halbleiter-Elektronik book series (HALBLEITER, volume 8)

Zusammenfassung

Die Grundstruktur des MIS-Varaktors besteht aus einer metallischen Feldelektrode, die auf eine oxidbedeckte Halbleiteroberfläche aufgebracht ist (Bild 5.1). Die Oxidschicht kann auch durch isolierende Fremdschichten, z.B. Titan-Dioxid oder Silizium-Nitrid ersetzt werden.

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Literatur zu Kapitel 5

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin, Heidelberg 1982

Authors and Affiliations

  • Günther Kesel
    • 1
  • Jürgen Hammerschmitt
    • 1
  • Eckhard Lange
    • 2
  1. 1.Siemens AGMünchenDeutschland
  2. 2.Lehrstuhl für Technische ElektronikTechnischen UniversitätMünchenDeutschland

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