Zusammenfassung
Bisher wurden Verfahren betrachtet, bei denen die Anregungselektrode sich direkt im Geschehen befand, sowohl bei den Sputter- wie bei den ätzverfahren. Von einer ganz anderen Seite kommt das Ionenstrahlverfahren: Bei der NASA wurde Ende der 1950iger Jahre an der Entwicklung von Ionentriebwerken gearbeitet [223J [224], um Flüge in den interplanetarischen Raum zu ermöglichen. Diese Systeme wurden zur Erzeugung einer möglichst hohen Schubkraft optimiert. Die Treibstoffe sollten hohes Atomgewicht und damit großen Impuls bei gleicher Leistung, niedriges Ionisierungspotential zur Erzeugung einer hohen 10- nendichte aufweisen und wenig Korrosion verursachen (deswegen wurde meist mit Quecksilber anstelle von Cesium gearbeitet).
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Franz, G. (2004). Ionenstrahlsysteme. In: Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-18769-8_8
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-18769-8_8
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