Zusammenfassung
Die hier beschriebenen Plasmaverfahren unterscheiden sich wesentlich hinsichtlich der Druckbereiche: IBE-Verfahren arbeiten im Druckbereich kleiner 0,1 Pa, während IE im Druck um eine Größenordnung und PE um zwei Größenordnungen höher liegen. Heliconwellen- und ECR/ICP-Verfahren umfassen den Bereich zwischen IBE und IE. Das kann auch von den ätzraten gesagt werden.
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Franz, G. (2004). Ausblick. In: Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-18769-8_13
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