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Kryotechnik und Kryopumpen

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Handbuch Vakuumtechnik

Zusammenfassung

„Kryo“ ist von dem griechischen Wort Kryos = Kälte abgeleitet. Kryotechnik heißt also nichts anderes als Kältetechnik. Man ist jedoch übereingekommen, nur die Kältetechnik im Temperaturbereich T < 120 K als Kryotechnik zu bezeichnen. Obwohl eine scharfe Abgrenzung der beiden Gebiete der Kältetechnik nicht möglich ist, hat sich diese Unterscheidung in der Praxis bewährt.

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Literatur

  1. Klipping, G.: Proceedings 6th Int. Vac. Congress, Kyoto 1974. Japan J. Appl. Phys. Suppl.2 (1974) Part 1, 81.

    Google Scholar 

  2. Johnson, R. W., S. C. Collins, J. L Smith Jr.: Advances Cryogenic Engng.16 (1971).

    Google Scholar 

  3. Köhler, J. W. J., C. O. Jonkers: Philips Tech. Rev.16 (1954) 69 und 105.

    Google Scholar 

  4. Prast, G.: Philips Techn. Rundschau 26 (1965) 1.

    Google Scholar 

  5. Haarhuis, G. J: Philips Techn. Rundschau 29 (1968) 202.

    Google Scholar 

  6. McMahon, H. O., W. E. Gifford: Adv. Cryogenic Engng.5 (1960) 354 und 368.

    Google Scholar 

  7. Crawford, A. H.: Cryogenics 10 (1970) 28.

    Google Scholar 

  8. Hogan, W.: Adv. Cryog. Engng.20 (1974).

    Google Scholar 

  9. Klipping, G.: Cryogenics 13 (1973) 197.

    Article  Google Scholar 

  10. Mendelssohn, K.: Die Suche nach dem absoluten Nullpunkt. Kindler-Verlag München 1966.

    Google Scholar 

  11. Hamilton, W. O., Greene, D. B., Davidson, D. E.: Rev. Sci. Instrum.39 (1968) 645, Wood, G H.: Cryogenics 11 ((171) 234.

    Article  ADS  Google Scholar 

  12. Walter, H.: Konstruktionselemente der Kryotechnik, Lehrgangshandbuch Kryotechnik, VDI-Bilduneswerk. Düsseldorf. April 1973.

    Google Scholar 

  13. Johnson, V. J. (Ed.)-A Compendium of the Properties of Materials at Low Temperatures, NB.S. Boulder, Colorado (1960); WADD Techn. Report 60–65, Washington (1960).

    Google Scholar 

  14. Kasen M. B.: Cryogenics 15 (1975) 327.

    Article  Google Scholar 

  15. Kohlrausch, F.: Praktische Physik I, 22. Aufl., Teubner Stuttgart 1968.

    Google Scholar 

  16. Kohlrausch, F.: Praktische Physik I, 23. Aufl., Teubner Stuttgart 1985.

    Google Scholar 

  17. Barber, C. R.: Helium Gas Thermometry at Low Temperatures, in: Temperature, Vol. III, Part 1, Ed. F. G. Brickwedde, Reinhold Publ. Corp., New York 1962, S. 103.

    Google Scholar 

  18. Blanke, W.: Eine neue Temperaturskala. Die Internationale Temperaturskala von 1990 (ITS-90); PTB-Mitt.99 (1989) 453.

    Google Scholar 

  19. Preston-Thomas, K, The International Temperature Scale of 1990 (ITS-90), Metrologia 27 (1990), 3 ... 10.

    Article  ADS  Google Scholar 

  20. Klipping, G., F. Schmidt: Kältetechnik 17 (1965) 382.

    Google Scholar 

  21. Dijk, H. van: Physica 30 (1964) 1498.

    Article  ADS  Google Scholar 

  22. Kos, J. F., M. Drolet, J. I. Lamarche: Can. J. Phys. 45 (1967) 275.

    Google Scholar 

  23. Rushy, R. L.: Vth Symp. on Temperature. Washington 1971, Paper R6-23.

    Google Scholar 

  24. Sachse, H. B.: Z. angew. Physik 15 (1963) 4.

    Google Scholar 

  25. Rubin, I. G.: Cryogenics 10 (1970) 14.

    Article  ADS  Google Scholar 

  26. Clement, J. R., E. H. Quinnell: Rev. Sci. Instrum.23 (1952) 213.

    Article  ADS  Google Scholar 

  27. Sparks, L. L., R. I. Powell: Cryogenic Thermocouple Tables. NBS-Report 8750 (1965).

    Google Scholar 

  28. Reference Tables for Thermocouples, March 1973, British Calibration Service, Dept. of Trade & Industry, 1 Victoria St. London SWl, England.

    Google Scholar 

  29. Denner, H: Cryogenics 9 (1969) 282.

    Article  Google Scholar 

  30. Kutzner, K., F. Schmidt: Messung tiefer Temperaturen. Sommerschule für Supraleitung Steibis, Fachausschuß Tiefe Temperaturen der DPG, Karlsruhe Dezember 1967, S. 259.

    Google Scholar 

  31. Elsner, A., G. Hildebrandt, G. Klipping: Kältetechnik 18 (1966) 223.

    Google Scholar 

  32. Ruppert, U.: Automatische Nachfüllvorrichtung für flüssiges Helium, Diplomarbeit, FU Berlin 1969.

    Google Scholar 

  33. Elsner, A., G. Hildebrandt, G. Klipping: Dechema-Monographien 58 (1968) 9.

    Google Scholar 

  34. Elsner, A., G. Klipping: Adv. Cryogen. Engng.14 (1968) 416.

    Google Scholar 

  35. Roubeau, P.: Cryogenics 6 (1966) 207.

    Article  Google Scholar 

  36. Klipping, G.: Kältetechnik 13 (1961) 250.

    Google Scholar 

  37. Klipping, G.: Chemie-Ing.-Techn.36 (1964) 430.

    Article  Google Scholar 

  38. Tait and Dewar: Proc. Roy. Soc. (Edinburgh) 8 (1874) 348 und 628.

    Google Scholar 

  39. Lasarew, B. G., J. S. Borovik, M. F. Fedorowa, N. M. Zin: Ukr. Phys. J. (1957) 176.

    Google Scholar 

  40. Bailey, B. M. R., I. Chuan: Transact. V. Nat. Symp. Vacuum Technology, Pergamon Press (1958), 262.

    Google Scholar 

  41. Honig, R. E., H. O. Hock: R. C. A. Review 21 (1960) 360.

    Google Scholar 

  42. Pollack, G. L.: Rev. mod. Phys.36 (1964) 748.

    Article  ADS  Google Scholar 

  43. Landolt-Börnstein: 6. Auflage, 1960, II/2a, S. 1 ff.

    Google Scholar 

  44. Schönherr, W. D.: Dissertation, TU Berlin, Berlin 1970.

    Google Scholar 

  45. Becker, K, G. Klipping, W. D. Schönherr, W. Schulze, V. Tolle: Proceedings ICEC 4, Eindhoven 1972, S. 319 und S. 323.

    Google Scholar 

  46. Lee, T. L: J. Vac.Sci.9 (1972) 257.

    Article  ADS  Google Scholar 

  47. Dallugge, W.: Dissertation, TU Berlin, Berlin 1971 (Ergebnisse und Quellennachweis).

    Google Scholar 

  48. Schulze, W., D. M. Kolb, G. Klipping: Proceedings ICEC 5, Kyoto 1974, S. 268.

    Google Scholar 

  49. Benvenuti, C., D. Blechschmidt: Proc. 6th Intern. Vacuum Congr. 1974, Japan J. Appl. Phys. Suppl. 2, Pt. 1, 1974, S. 77.

    Google Scholar 

  50. Benvenuti, C.,M. Firth: Vacuum 29 (1979) 427 ff.

    Article  Google Scholar 

  51. Benvenuti, C.: J. Vac. Sci. Technol. 11 (1974) 591.

    Article  ADS  Google Scholar 

  52. Forth, H.J., A. Hofmann, G. Schäfer, P. Schäfer, M. Schinkmann: Vakuum-Technik 21 (1972)

    Google Scholar 

  53. Klipping, G., U. Ruppert, H. Walter: Proceedings ICEC 4, Eindhoven 1972, 358.

    Google Scholar 

  54. Sellmaier, A., R. Glatthaar, E. Kliem: Proceedings ICEC 3, Berlin 1970, 310.

    Google Scholar 

  55. Schmidt, E.: Technische Thermodynamik, 11. Aufl., bearbeitet von K. Stephan und F. Mayinger, Springer-Verlag, Berlin 1975.

    Google Scholar 

  56. Hausen, H., H. Linde: Tieftemperaturtechnik. Erzeugung sehr tiefer Temperaturen, Gasverflüssigung und Zerlegung von Gasgemischen. 2. neubearb. Auflage, Springer Berlin 1985.

    Google Scholar 

  57. Richardson: Techniques in Low Temperature Physics. Addison-Wesley, Reading 1987.

    Google Scholar 

  58. Kohlrausch, F.: Praktische Physik Band I, 22. Aufl., Teubner Stuttgart 1968.

    Google Scholar 

  59. Kohlrausch, F.: Praktische Physik Band I, 23. Aufl., Teubner Stuttgart 1985.

    Google Scholar 

  60. Haselden, G. G. (Ed.): Cryogenic Fundamentals, Kap. 2 (G. G. Haselden, Refrigeration and Liquefaction Cycles), Academic Press, London und New York 1971.

    Google Scholar 

  61. Eckert, E.: Technische Strahlungsaustauschrechnungen, VDI-Verlag, Berlin 1937.

    Google Scholar 

  62. itEckert, E.: Derselbe, Wärme-und Stoffaustausch, 3. Aufl., Springer-Verlag, Berlin 1966.

    Google Scholar 

  63. Gifford, W. E.: Advances in Cryo Eng.11 (1966), 152 ... 159

    Google Scholar 

  64. NBS Monograph 111, Technologie of Liquid Helium (1968), 83 ... 151.

    Google Scholar 

  65. Ackermann, R. A., W. E. Gifford: Adv. in Cryo Eng.16 (1971).

    Google Scholar 

  66. Forth, H.J., R. Frank, G. Lentges: Proc. ICEC, Grenoble (1976). 132 ff.

    Google Scholar 

  67. Rüthlein, H., H.-J. Forth, J. Visser: Proc. 7, Int. Vac. Congr., Wien (1977) 77.

    Google Scholar 

  68. Heisig, R., H.-J. Forth: Proc. 7. ICEC London (1978) 615.

    Google Scholar 

  69. Frank, R., H-H Klein, H.-J. Forth, R. Heisig: Proc. of the 8. Int. Vac. Congr., Cannes (1980).

    Google Scholar 

  70. Haefer, R. A.: Kryo-Vakuumtechnik, Springer Verlag, Berlin, 1981.

    Google Scholar 

  71. Frey, H., R. A. Haefer: Tieftemperaturtechnologie, VDI-Verlag, Düsseldorf, 1981.

    Google Scholar 

  72. Abnahmeregeln für mit Kältemaschinen gekühlte Kryopumpen. PNEUROP Nr. PN 5 AS R cc5 (1990).

    Google Scholar 

  73. Lawless, W. N.: Rev. Sci. Instr.43 (1972), 1743.

    Article  Google Scholar 

  74. Swartz, D. L, T. M. Swartz: Cryog. Technology 5 (1960), 250. Typenblatt der Lake Shore Cryotronics Inc. (Cryophysics GmbH., Landwehrstraße 48, D-6100 Darmstadt).

    Google Scholar 

  75. Lawless, W. N.: Rev. Sci. Instr.42 (1971), 561.

    Article  ADS  Google Scholar 

  76. Nöller, H. G.: Proc. 9. Inter. Vac. Congr., Madrid 1983, 217 ... 226.

    Google Scholar 

  77. Bentley, P. D.: Vacuum 30 (1980), Nr. 4/5, 145 ... 158.

    Article  Google Scholar 

  78. Obert, W.: Kryopumpen großer Leistung. DKV-Tagungsbericht 1989, Band 1, S. 1 ... 9. Deutscher Kälte-und Klimatechnischer Verein, Pfaffenwaldring 10, D-7000 Stuttgart 80.

    Google Scholar 

  79. Perinic, D.: Kryopumpen für Plasmaabgase von Fusionsreaktoren [wie 89a] S. 11 ... 20.

    Google Scholar 

  80. Hands, B. A.: Vacuum 32 (1982), Nr. 10/11, 603 ... 612 und.

    Article  Google Scholar 

  81. Hands, B. A.: Vacuum 37 (1987) 21 ... 29.

    Article  Google Scholar 

  82. Saenger, G. et al.: Vakuum-Techn.31 (1982), 71 ... 81.

    Google Scholar 

  83. Kiese, G.: Kryopumpen in der Halbleiterindustrie, [wie 89a], S. 21 ... 27.

    Google Scholar 

  84. Knorr, G.: Kryopumpen in industriellen Hochvakuum-Prozessen [wie 89a], S. 45 ... 52.

    Google Scholar 

  85. Klein, H.-H. et al.: Der Einsatz von Kryopumpen in Produktionsanlagen. Vak.-Techn.35 (1986) 203 ... 211.

    Google Scholar 

  86. Häfner, H.-H et al.: Production of Ultra-high vacuum using refrigerator-cooled cryopumps. Sonderdruck der Leybold AG, Köln 1990.

    Google Scholar 

  87. Häfner, H.-H. et al.: New methods and investigations for regenerating refrigerator cryopumps. Vacuum 34 (1984), 1840 ... 1842.

    Google Scholar 

  88. Foster, C. A.: High throughput continuous cryopumps. J. Vac. Sci. Techn. A5 (1987), 2558 ... 2562.

    ADS  Google Scholar 

  89. Hood, C. B.: The development of large cryopumps from space chambers to the fusion program. J. Vac. Sci. Techn. A3 (1985), 1684 ... 1689.

    ADS  Google Scholar 

  90. Sedgley et al.: Helium cryopumping for fusion applications. J. Vac. Sci. Techn. A6 (1988), 1209 ... 1213.

    ADS  Google Scholar 

  91. Porter, R.: Techniques for testing cryopumps capacity. J. Vac. Sci. Techn. A6 (1988), 1214 ... 1216.

    ADS  Google Scholar 

  92. Longworth, R. C., G. E. Bonney: Cryopump regeneration studies. J. Vac. Sci. Techn. 21 (1982), 1022 ... 1027

    Article  ADS  Google Scholar 

  93. Lessard, P. A.: Cryogenic adsorption of noncondensibles in the high vacuum regime. J. Vac. Sci. Techn. A7 (1989), 2373 ... 2376.

    ADS  Google Scholar 

  94. Finley, L. A.: Automatic regeneration of multiple cryopumps. J. Vac. Sci. Techn. A4 (1986), 310 ... 313.

    ADS  Google Scholar 

  95. Bächler, W. G.: Cryopumps for research and industry. Vacuum 37 (1987), 21 ... 29.

    Article  Google Scholar 

  96. Hood, C. B.: Cryopump speed measurement with AVS/ASTM and ISO test domes. J. Vac. Sci. Techn. A2 (1984), 74 ... 75.

    ADS  Google Scholar 

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Wutz, M., Adam, H., Walcher, W. (1997). Kryotechnik und Kryopumpen. In: Handbuch Vakuumtechnik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-99421-9_10

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