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Wutz Handbuch Vakuumtechnik pp 316–350Cite as

Molekular- und Turbomolekularpumpen

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Zusammenfassung

In diesem Kapitel werden die physikalischen Grundlagen und der technische Aufbau von Turbomolekularpumpen beschrieben. Molekularpumpen als eigenständige Pumpen sind nur von historischem Interesse, werden heute jedoch oft als zusätzliche Pumpstufen mit Turbomolekularpumpen kombiniert.

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  1. Karl-Heinz Bernhardt
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Bernhardt, KH. (2004). Molekular- und Turbomolekularpumpen. In: Jousten, K. (eds) Wutz Handbuch Vakuumtechnik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-96971-2_9

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-96971-2_9

  • Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden

  • Print ISBN: 978-3-322-96972-9

  • Online ISBN: 978-3-322-96971-2

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