Skip to main content
SpringerLink
Log in

Kenngrößen von piezoresistiven Silizium-Elementardrucksensoren

  • Chapter
Sensoranwendungen

Part of the book series: Werkstoffe und Bauelemente der Elektrotechnik ((WBE))

  • 337 Accesses

Zusammenfassung

Die Vorteile piezoresistiver Sensoren gegenüber anderen Druckmeßprinzipien, insbesondere hohe Empfindlichkeit, kleine Bauform und geringe Fehler, sind bereits vielfach beschrieben worden. Da von verschiedenen Herstellern Elementarsensoren angeboten werden, die vom Anwender für seinen speziellen Bedarf komplettiert und abgeglichen werden können, ist es sinnvoll, sich mit den Kenndaten von piezoresistiven Drucksensoren näher auseinanderzusetzen.

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this chapter

Log in via an institution
Chapter
USD 29.95
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
eBook
USD 59.99
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
Softcover Book
USD 74.99
Price excludes VAT (USA)
  • Compact, lightweight edition
  • Dispatched in 3 to 5 business days
  • Free shipping worldwide - see info

Tax calculation will be finalised at checkout

Purchases are for personal use only

Institutional subscriptions

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur

  1. W. Heywang, “Sensorik”, Springer-Verlag (1984)

    Google Scholar 

  2. A. Heuberger, “Mikromechanik”, Springer-Verlag (1989)

    Google Scholar 

  3. Prof. Dr. H. Schaumburg, Buchreihe “Werkstoffe und Bauelemente der Elektrotechnik”, B. G. Teubner Verlag, Stuttgart

    Google Scholar 

  4. Pfeifer/Werthschützky “Drucksensoren”, VEB Verlag Technik Berlin (1989)

    Google Scholar 

  5. J.Binder, G.Ehrler, K. Heimer, B. Krisch, M. Poppinger, “Silicon Pressure Sensors for the 2 kPa to 40 MPa Range”, Siemens Forschung u. Entwickl.-Ber. Bd.13 (1984) Nr. 6, S. 294–302

    Google Scholar 

  6. K. E. Petersen, “Silicon as a Mechanical Material”, Proc. of IEEE, Vol. 70, No. 5, (May 1982), p 420–457

    Article  Google Scholar 

  7. G Ehrler “Piezoresistive Silizium-Elementardrucksensoren”, Sensor Magazin 1/92, Seite 10–16

    Google Scholar 

  8. SIEMENS Datenbuch “Silizium-Temperatur- und Drucksensoren” 1990/91

    Google Scholar 

Download references

Authors
  1. Uwe Baumann
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

  2. Günter Ehrler
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

Editor information

Editors and Affiliations

  1. Technische Universität Hamburg-Harburg, Deutschland

    Hanno Schaumburg

Rights and permissions

Reprints and permissions

Copyright information

© 1995 Springer Fachmedien Wiesbaden

About this chapter

Cite this chapter

Baumann, U., Ehrler, G. (1995). Kenngrößen von piezoresistiven Silizium-Elementardrucksensoren. In: Schaumburg, H. (eds) Sensoranwendungen. Werkstoffe und Bauelemente der Elektrotechnik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-96721-3_6

Download citation

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-96721-3_6

  • Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden

  • Print ISBN: 978-3-322-96722-0

  • Online ISBN: 978-3-322-96721-3

  • eBook Packages: Springer Book Archive

Publish with us

Policies and ethics

Search

Navigation