Temperatur- und Luftstrommessung mit lasergetrimmten Si-/Permalloy-Temperatursensoren

Zusammenfassung

Das temperaturempfindliche Fühlerelement der neuen Temperatur- und Luftstromsensoren-Familie basiert auf der Temperaturabhängigkeit des spezifischen Widerstandes von Permalloy, einer speziellen Nickel-Eisen-Legierung (s. Band 1, Abschnitt 7.2.2). Die Sensorstruktur ist auf einem 1,0 × 1,3 mm² kleinen Siliziumchip aufgebracht und besteht aus einem einem aufgedampften und exakt abgeglichenen Widerstandsnetzwerk (s. Band 3, Abschnitt 3.3.3). Der hohe positive Temperaturkoeffizient, die ausgezeichnete Linearität und Langzeitstabilität sowie der hohe Nennwiderstand von 2000 Ω bei +20 °C ermöglichen die Realisierung hochgenauer, energiesparender Meßschaltungen. Das günstige Preis/Leistungs-Verhältnis dieser Sensoren resultiert aus den niedrigen Kosten des edelmetallfreien Materials und dem hohen Automatisierungsgrad der Fertigung. Die ursprünglich für die Automobilindustrie entwickelten Sensoren werden daher zunehmend in Heiz-, Kühl-, Klima- und Belüftungsanlagen sowie in der Umwelt-, Computer-, Telekommunikations- und Meßtechnik eingesetzt. Kundenspezifische Gehäuse aus Kunststoff, Edelstahl, Aluminium oder Messing sind auf Wunsch auch mit integrierter Signalaufbereitung lieferbar.