Zusammenfassung
Am Beispiel von zwei kapazitiven Meßzellenkonstruktionen aus Aluminiumoxid-Keramik (Al2O3) wird die Wirkungsweise von Druck- und Differenzdrucksensoren erläutert. Beschrieben wird der Aufbau und die Funktionsweise der Meßzellen als auch deren Einbindung in das Gesamtsystem von Absolut-, Relativ- und Differenzdrucktransmittern für industrielle Meßaufgaben. Insbesondere wird auf die Eigenschaften der kapazitiven Druckmessung in Verbindung mit dem keramischen Werkstoff eingegangen.
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Kirberich, L. (1995). Innovative Druckmeßtechnik mit Keramiktechnologie für industrielle Druck- und Differenzdruckmeßaufgaben. In: Schaumburg, H. (eds) Sensoranwendungen. Werkstoffe und Bauelemente der Elektrotechnik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-96721-3_10
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