Zusammenfassung
Die Produktion von integrierten Schaltungen mit einigen Tausend bis zu mehr als eine Milliarde Transistoren erfordert absolute Sauberkeit, da jede Verunreinigung zu einer Veränderung der Struktur an der Scheibenoberfläche bzw. der Dotierungs- und Ladungsverhältnisse im Kristall führt. Diese wirken sich negativ auf die Ausbeute an funktionsfähigen Elementen sowie die Zuverlässigkeit und Langzeitstabilität der Schaltungen aus.
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© 2002 B. G. Teubner Stuttgart/Leipzig/Wiesbaden
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Hilleringmann, U. (2002). Scheibenreinigung. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Silizium-Halbleitertechnologie. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94119-0_9
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-94119-0_9
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
Print ISBN: 978-3-519-20149-6
Online ISBN: 978-3-322-94119-0
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