Zusammenfassung
Die Entwicklung der Mikroelektronik — ausgehend vom ersten Transistor 1948 über die erste integrierte Schaltung mit nur 4 Transistoren im Jahr 1962 bis hin zu Speicherbausteinen mit einer Kapazität von 4 Gbit pro Chip — demonstriert die Leistungsfähigkeit der Halbleitertechnologie in eindrucksvoller Weise. Strukturgrößen von 90 nm Weite, die noch vor wenigen Jahren mit optischer Lithografietechnik als unerreichbar galten, werden zurzeit in der Produktion eingesetzt. Ein Ende der Miniaturisierung ist bislang nicht absehbar /1/.
This is a preview of subscription content, log in via an institution.
Buying options
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Learn about institutional subscriptionsPreview
Unable to display preview. Download preview PDF.
Author information
Authors and Affiliations
Rights and permissions
Copyright information
© 2004 B.G. Teubner Verlag / GWV Fachverlage GmbH, Wiesbaden
About this chapter
Cite this chapter
Hilleringmann, U. (2004). Einleitung. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Teubner Studienskripten Soziologie. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94072-8_1
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-94072-8_1
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
Print ISBN: 978-3-519-30149-3
Online ISBN: 978-3-322-94072-8
eBook Packages: Springer Book Archive