Zusammenfassung
Die Produktion von integrierten Schaltungen mit einigen Tausend bis mehreren 100 Millionen Transistoren erfordert absolute Sauberkeit, da jede Verunreinigung zu einer Veränderung der Struktur der Scheibenoberfläche bzw. der Dotierungs- und Ladungsverhältnisse im Kristall führt. Diese wirken sich negativ auf die Ausbeute an funktionsfähigen Elementen sowie die Zuverlässigkeit und Langzeitstabilität der Schaltungen aus.
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© 1999 B. G. Teubner Stuttgart · Leipzig
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Hilleringmann, U. (1999). Scheibenreinigung. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Teubner-Studienbücher: Elektrotechnik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94053-7_9
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-94053-7_9
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
Print ISBN: 978-3-519-10149-9
Online ISBN: 978-3-322-94053-7
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