Zusammenfassung
In diesem Abschnitt wird anhand der Silizium Technologie gezeigt, wie die verschiedenen Verfahren der Halbleitertechnologie zur Herstellung von Bauelementen eingesetzt werden. Aus der Fülle der existierenden, verschiedenartigen Halbleiterbauelemente werden nur diejenigen ausgewählt, die auch in integrierten Schaltungen benutzt werden können. Ein wichtiges Verfahren ist dabei die Silizium-Planar-Technologie. Neben der Herstellung von aktiven Bauelementen wie Transistoren wird auch die Realisierung passiver Elemente wie Widerstände und Kondensatoren erläutert.
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© 1981 B. G. Teubner Stuttgart
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Harth, W. (1981). Fertigungsbeispiele. In: Halbleitertechnologie. Teubner Studienskripten Elektrotechnik. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94051-3_9
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-94051-3_9
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag
Print ISBN: 978-3-519-10054-6
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