Zusammenfassung
Technologie ist im Duden definiert als “Lehre von der Gewinnung und Verarbeitung von Roh- und Werkstoffen zu betriebssicheren technischen Produkten”. Halbleitertechnologie im engeren Sinne ist demgemäß die Verfahrens- und Methodenlehre von der Gewinnung und Verarbeitung von Halbleitermaterialien im Hinblick auf die Herstellung elektrischer Halbleiter-Bauelemente.
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Literatur
Burger, R.M. and Donovan, R.P. : Fundamentals of Silicon Integrated Device Technology, Bd. 1, New Jersey 1967
Frank, H. und Snejdar, V. : Halbleiterbauelemente, Bd. 1, Berlin 1964
Grove, A.S. : Physics and Technology of Semiconductor Devices, New York 1967
Hadamovsky, H.F. : Halbleiterwerkstoffe, Leipzig 1968
Meyer, C.S., Lynn, D.K. und Hamilton, D.J. : Analysis and Design of Integrated Circuits, New York 1968
von Münch, W. : Technologie der Galliumarsenid-Bauelemente, Berlin 1969
Müller, R. : Grundlagen der Halbleiter-Elektronik, Berlin 1971
Runyan, W.R. : Silicon Semiconductor Technology, New York 1965
Salow, H., Beneking, H., Krämer, H. und v. Münch, W. : Der Transistor, Berlin 1963
Sze, S.M. : Physics of Semiconductor Devices, New York 1969
Unger, H.G. und Schultz, W. : Elektronische Bauelemente und Netzwerke I, 2. Auflage, Braunschweig 1971
Unger, H.G. und Harth, W.: Hochfrequenz-Halbleiterelektronik, Stuttgart 1971
Harth, W. und Claassen, M.: Aktive Mikrowellendioden, Berlin 1981
Casey, H.C. und Panish, M.B.: Heterostructure Lasers, Part A and B, New York 1978
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© 1981 B. G. Teubner Stuttgart
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Harth, W. (1981). Einleitung. In: Halbleitertechnologie. Teubner Studienskripten Elektrotechnik. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94051-3_1
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