Systemtechniken

Zusammenfassung

Unter dem Begriff Systemtechnik werden in diesem Buch sehr unterschiedliche Aspekte behandelt: Aufbau- und Verbindungstechnik, Schnittstellen und Mikrosystementwurf sind die hierunter fallenden Themengebiete. Der verbindende Aspekt bei diesen Themen ist die Forderung nach Realisierung eines multifunktionalen Systems. Gerade der Aufbau- und Verbindungstechnik wird für die Qualität und Wettbewerbsfähigkeit einer Mikrosystemlösung gegenüber konventionellen Lösungen die entscheidende Bedeutung beigemessen [168], [169]. Hierfür sind folgende Gründe maßgeblich verantwortlich:

• Ein Mikrosystem (z.B. Sensor) kann aufgrund der geforderten Funktionalität häufig nicht vollständig von der Umgebung abgekapselt werden (Einleitung der Meßgröße).

• Die Art der nachgeordneten, im sogenannten back-end des Herstellungsprozesses realisierten Aufbau- und Verbindungstechnik kann eventuell Einfluß auf vorherige Fertigungsschritte haben (Fertigungsschritte auf Waferebene im sogenannten front-end).

• Die Aufbau- und Verbindungstechnik stellt die Schnittstelle des Mikrosystems zum Anwender her.

• Häufig findet die eigentliche Wertschöpfung bei der Aufbau- und Verbindungstechnik statt. Eine geeignete Wahl ist nicht nur qualitäts- sondern häufig auch preisbestimmend.

• Die Aufbau- und Verbindungstechnik kann meist auch in einem klein- oder mittelständisch geprägten Industriebetrieb realisiert werden. Damit ist die kundenspezifische Gehäusung von Mikrosystemen eine große Wettbewerbschance gerade für KMUs.