Zusammenfassung
Mehr und mehr Industriebereiche, wie die Medizintechnik, die Feinmechanik, die Mikrosystemtechnik, die Pharmazie, die Lebensmittelindustrie oder die Halbleiterfertigung, benötigen bei der Herstellung ihrer Produkte reinste Fertigungs- und Umgebungsbedingungen. Dazu gehören beispielsweise der Reinraum, der die äußere Hülle der Fertigungsumgebung darstellt, die Handhabungs- und Transportsysteme sowie die Medienver- und -entsorgungssysteme, die zum Transport von Prozessmedien benötigt werden. Besonders hohe Reinheitsanforderungen werden dabei z.B. an
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die Raumluft,
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den Arbeitsplatz (Werkzeuge und Maschinen),
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die Prozessmedien (Gase, Chemikalien, Flüssigkeiten) und
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das Personal
gestellt.
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© 2004 B.G. Teubner Verlag / GWV Fachverlage GmbH, Wiesbaden
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Westkämper, E., Warnecke, HJ. (2004). Reinstproduktion am Beispiel elektronischer Halbleiterbauelemente. In: Einführung in die Fertigungstechnik. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-92890-0_9
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-92890-0_9
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag
Print ISBN: 978-3-519-56323-5
Online ISBN: 978-3-322-92890-0
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