Reinstproduktion am Beispiel elektronischer Halbleiterbauelemente

Zusammenfassung

Mehr und mehr Industriebereiche, wie die Medizintechnik, die Feinmechanik, die Mikrosystemtechnik, die Pharmazie, die Lebensmittelindustrie oder die Halbleiterfertigung, benötigen bei der Herstellung ihrer Produkte reinste Fertigungs- und Umgebungsbedingungen. Dazu gehören beispielsweise der Reinraum, der die äußere Hülle der Fertigungsumgebung darstellt, die Handhabungs- und Transportsysteme sowie die Medienver- und -entsorgungssysteme, die zum Transport von Prozeßmedien benötigt werden. Besonders hohe Reinheitsanforderungen werden dabei z.B. an

• die Raumluft,

• den Arbeitsplatz (Werkzeuge und Maschinen),

• die Prozeßmedien (Gase, Chemikalien, Flüssigkeiten) und

• das Personal

gestellt.