Zusammenfassung
In der Halbleitertechnologie spielen verschiedene dünne (polykristalline oder amorphe) Schichten eine wesentliche Rolle. Die Herstellung derartiger Schichten wird in den folgenden Abschnitten erläutert.
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© 1993 B. G. Teubner Stuttgart
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von Münch, W. (1993). Schichtherstellung. In: Einführung in die Halbleitertechnologie. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-88970-6_5
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-88970-6_5
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