Zusammenfassung
Unter Epitaxie versteht man in der Halbleitertechnologie das einkristalline Wachstum einer dünnen Schicht auf einem einkristallinen Substrat. Man unterscheidet Homoepitaxie und Heteroepitaxie. Im ersteren Falle sind die Werkstoffe der Epitaxieschicht und des Substrates — von der Dotierung abgesehen — identisch; im zweiten Falle besteht die Epitaxieschicht aus einem Material, das von demjenigen des Substrates verschieden ist.
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© 1993 B. G. Teubner Stuttgart
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von Münch, W. (1993). Epitaxie. In: Einführung in die Halbleitertechnologie. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-88970-6_3
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