Zusammenfassung
Das Abscheiden dünner Schichten mit besonderen Eigenschaften kann auf zwei prinzipiell unterschiedlichen Wegen erfolgen, wobei die Grenzen zwischen beiden Verfahren fließend sind. Ein Weg zu dünnen Schichten besteht darin, daß man die chemische Schichtbildungsreaktion lokalisiert auf der Oberfläche des Werkstücks ablaufen läßt. Man nennt Verfahren dieser Art CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition).
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© 1995 Friedr. Vieweg & Sohn Verlagsgesellschaft mbH, Braunschweig/Wiesbaden
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Müller, KP. (1995). Dünnschichttechnologie. In: Praktische Oberflächentechnik. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-88815-0_19
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-88815-0_19
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag
Print ISBN: 978-3-528-06562-1
Online ISBN: 978-3-322-88815-0
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