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Microstrip-Streifenleitungen auf hochohmigen Halbleitersubstraten (47)

  • Heinz Beneking
  • Jörg Naumann
  • Heinz Storck
Chapter
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Part of the Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen book series (FOLANW, volume 2295)

Zusammenfassung

Bei monolithischen Schaltungen ist das Halbleitersubstrat Träger der Microstripleitungen. Ein Querschnitt der Microstripleitung ist in Abb. 20 gezeigt. Bei Verwendung eines homogenen Halbleitermaterials als Substrat muß neben der Dielektrizitätskonstanten noch die Leitfähigkeit des Halbleitermaterials berücksichtigt werden. Das Halbleitersubstrat wird durch eine komplexe Dielektrizitätskonstante
$${{\in }_{r}}={{\in }_{r}}-j{{\in }_{r}}\left( \tan \delta +\frac{\delta }{\omega {{\in }_{o}}{{\in }_{r}}} \right)$$
(6)
beschrieben.

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Copyright information

© Westdeutscher Verlag, Opladen 1973

Authors and Affiliations

  • Heinz Beneking
    • 1
  • Jörg Naumann
    • 1
  • Heinz Storck
    • 1
  1. 1.Institut für HalbleitertechnikRhein. -Westf. Techn. Hochschule AachenDeutschland

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