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Herstellung der SmCo-Schichten

  • Magdala Gronau
  • Siegfried Methfessel
Chapter
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Part of the Forschungsbericht des Landes Nordrhein-Westfalen book series (FOLANW, volume 3004)

Zusammenfassung

Eine vorhandene Vakuumanlage wurde für das Flash-Verdampfen von SmCo-Verbindungen eingerichtet. Dieses Verfahren wurde gewählt, um unerwünschte Aufdampfanisotropien wie sie z.B. beim Aufdampfen aus 2 Quellen auftreten (13) zu vermeiden. Fig.1 zeigt eine Prinzipskizze der Aufdampfanordnung.

Copyright information

© Springer Fachmedien Wiesbaden 1981

Authors and Affiliations

  • Magdala Gronau
    • 1
  • Siegfried Methfessel
    • 1
  1. 1.Institut für Experimentalphysik Lehrstuhl IVRuhr-Universität BochumDeutschland

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