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Die statische Methode der Sekundärionen-Massenspektrometrie

  • Alfred Benninghoven
  • Lothar Wiedmann
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Part of the Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen book series (FOLANW, volume 2784)

Zusammenfassung

Die Sekundärionen-Massenspektrometrie ist von Natur aus ein destruktives Verfahren, da die Oberfläche während des zur Analyse erforderlichen lonenbeschusses kontinuierlich abgetragen wird. Daher eignet sich SIMS sehr gut zur Bestimmung von Konzentrationsprofilen, insbesondere auch in dünnen Schichten (13–17). Bei den bisher üblichen Primärionen-Stromdichten erfolgt der Abbau einer Monolage in Zeiten unter 1 sec. (dynamisches SIMS).

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Copyright information

© Westdeutscher Verlag GmbH, Opladen 1978

Authors and Affiliations

  • Alfred Benninghoven
    • 1
  • Lothar Wiedmann
    • 1
  1. 1.Physikalisches InstitutUniversität MünsterDeutschland

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