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Grundlagen der Sekundärionenemission

  • Alfred Benninghoven
  • Lothar Wiedmann
Chapter
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Part of the Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen book series (FOLANW, volume 2784)

Zusammenfassung

Der lonenbeschuß einer Festkörperoberfläche und die dadurch hervorgerufene Sekundärionenemission stellen einen komplizierten Gesamtvorgang dar, den man vereinfacht in drei Schritte zerlegen kann (9): die Impulsübertragung, die Ionisierung und die Entfernung des Ions von der Oberfläche. Abb.1 zeigt ein schematisches Modell der Impulsübertragung (7). Das zum Beschuß verwendete Primärion dringt, sofern es nicht an der Oberfläche reflektiert wird, bis zu einer Tiefe von einigen Atomlagen in den Festkörper ein. Dabei gibt es nahezu seine gesamte Energie an die Gitteratome ab. Ein Teil dieser Energie kann durch Stoßprozesse im Gitter mit einer in den Außenraum weisenden Impulsrichtung auf ein Oberflächenteilchen übertragen werden, überschreitet die übertragene Energie einen bestimmten Wert, dann wird ein solches Teilchen im neutralen oder geladenen Zustand emittiert. Die Ionisierung kann durch verschiedene Prozesse erfolgen. Zu besonders hohen Ausbeuten an geladenen Teilchen führt die Aufspaltung chemischer Bindungen, insbesondere von lonenbindungen (Stoßdissoziation) (9,10). Nahe der Oberfläche kann ein gebildetes Sekundärion durch Elektronenaustausch mit dem Festkörper rückneutralisiert werden.

Copyright information

© Westdeutscher Verlag GmbH, Opladen 1978

Authors and Affiliations

  • Alfred Benninghoven
    • 1
  • Lothar Wiedmann
    • 1
  1. 1.Physikalisches InstitutUniversität MünsterDeutschland

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