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Zusammenfassung

  • Heinz Beneking
  • Ulrich Langmann
  • Peter Lenz
Part of the Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen book series (FOLANW, volume 2382)

Zusammenfassung

Diese Arbeit berichtet im ersten Teil über den Aufbau einer Kristallziehanlage nach dem GREMMELMAIER-Verfahren zur Herstellung von Galliumarsenid-Einkristallen. Die Forderungen, die an die Qualität der Kristalle gestellt werden, sind mit einer Reihe von Parametern verknüpft, deren Optimierung anhand von Versuchen während des Aufbaus der Apparatur dargestellt wird. Dabei dient das Modell eines Kristallziehversuches als Basis für die Optimierung der Kristallzuchtparameter und der Bedienbarkeit der Apparatur. Über das Ergebnis wird berichtet.

Copyright information

© Westdeutscher Verlag GmbH, Düsseldorf 1974

Authors and Affiliations

  • Heinz Beneking
    • 1
  • Ulrich Langmann
    • 1
  • Peter Lenz
    • 1
  1. 1.Institut für Halbleitertechnik der Rhein.-WestfTechn. Hochschule AachenDeutschland

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