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Versuche zur Optimierung der Kristallzuchtparameter [14]

  • Heinz Beneking
  • Ulrich Langmann
  • Peter Lenz
Part of the Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen book series (FOLANW, volume 2382)

Zusammenfassung

Die erfolgreiche Kristallzucht bedingt in ihrem Ablauf eine Optimierung aller Parameter, die den Versuchserfolg beeinflussen. Dies sind:
  1. a.)

    Zweckmäßigkeit des Aufbaus der Apparatur,

     
  2. b.)

    Vibrationsfreie Bewegung des Keimhalters,

     
  3. c.)

    Reproduzierbarkeit der Keimbewegung,

     
  4. d.)

    Temperaturmessung und -regelung,

     
  5. e.)

    Temperaturgradienten in der Wachstumszone

     
  6. f.)

    Sichtverhältnisse.

     

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Copyright information

© Westdeutscher Verlag GmbH, Düsseldorf 1974

Authors and Affiliations

  • Heinz Beneking
    • 1
  • Ulrich Langmann
    • 1
  • Peter Lenz
    • 1
  1. 1.Institut für Halbleitertechnik der Rhein.-WestfTechn. Hochschule AachenDeutschland

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