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Kristallqualität [14]

  • Heinz Beneking
  • Ulrich Langmann
  • Peter Lenz
Part of the Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen book series (FOLANW, volume 2382)

Zusammenfassung

Bei der Herstellung von Kristallen ist eine möglichst gute Qualität anzustreben. Folgende Parameter können zur Kennzeichnung der Kristallqualität dienen:
  1. 1.

    Einkristallinität,

     
  2. 2.

    Versetzungsdichte,

     
  3. 3.

    Kristalldurchmesser,

     
  4. 4.

    Verunreinigungen im Kristall.

     

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Copyright information

© Westdeutscher Verlag GmbH, Düsseldorf 1974

Authors and Affiliations

  • Heinz Beneking
    • 1
  • Ulrich Langmann
    • 1
  • Peter Lenz
    • 1
  1. 1.Institut für Halbleitertechnik der Rhein.-WestfTechn. Hochschule AachenDeutschland

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