Transmissionselektronenmikroskopie von Werkstoffgefügen

Zusammenfassung

Das Transmissionselektronenmikroskop (TEM) stellt ein wichtiges Hilfsmittel für werkstoffkundliche Untersuchungen dar. Es ermöglicht die direkte Beobachtung von linien- und flächenförmigen sowie räumlichen Gitterstörungen wie Versetzungen, Stapelfehlern, Zwillingen, Korngrenzen und Ausscheidungen im Innern von Werkstoffen. Dazu sind von den interessierenden Werkstoffbereichen hinreichend dünne Folien (< 0.1 μm) anzufertigen, die von Elektronen mit Energien > 100 keV durchstrahlt werden können. Die Mikrostruktur der dünnen Folie ist nur dann für die Eigenschaften des massiven Werkstoffes repräsentativ, wenn sie durch den Abdünnprozeß unbeeinflußt bleibt. Bei der Folienherstellung hat man meistens von Kompaktproben auszugehen, aus denen zunächst kennzeichnende Werkstoffbereiche herausgearbeitet werden. Diese werden anschließend möglichst schonend mechanisch, funkenerosiv, elektrochemisch oder mit Ionenätzung auf Dicken von < 150 μm abgedünnt. Danach wird ein sorgfältiges Enddünnen (z. B. elektrochemisch oder mit Ionenätzung) durchgeführt.