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Zusammenfassung

Wenn Festkörper mit Elektronen beschossen werden, so kann es beim Vorhandensein von noch näher zu präzisierenden Bedingungen neben der Aussendung von Röntgenquanten und der Emission von Elektronen verschiedener Herkunft sowie von sichtbarem Licht auch zur Ablösung von Atomen, Ionen und Molekülen aus dem oberflächennahen Bereich des Probenkörpers kommen. Bein phänomenologisch kommt es unter der Einwirkung von Elektronenstrahlen auf den Festkörper zu einem mehr oder weniger ausgeprägten Materialabtrag von der Probe. Der Vollständigkeit halber sollte angemerkt werden, daß zwar auch ohne Bestrahlung eine Materialabwanderung eintritt— es handelt sich dann um die Ausbildung eines materialspezifischen Dampf druckes— , jedoch ist die Abtragungsrate bei Beschüß mit Elektronen i. allg. um Größenordnungen höher als bei der Einstellung des Dampfdruckes über einem Festkörper. Erscheinungen des Materialabtrags und der Emission von Ionen oder Neutralteilchen spielen sowohl in sehr verschiedenen Gebieten der physikalischen Untersuchungsmethodik als auch bei einigen technischen Anwendungen eine Rolle. Zur erstgenannten Gruppe gehört die Desorption von Gasmolekülen, die auf Festkörperoberflächen physikalisch oder chemisch adsorbiert sind, mittels Elektronenstrahlen. Bei der Untersuchung von Dünnschichtobjekten, speziell von organischen Präparaten, im Elektronenmikroskop oder mit der Elektronenstrahlmikrosonde tritt als störender Nebeneffekt ein Masseverlust auf. Hierdurch kann die Größe der Energiebelastung der zu analysierenden Bereiche begrenzt werden. Während zur Desorption von Gasadsorbaten bereits recht geringe Elektronenenergien ausreichen, größenordnungsmäßig 100 eV, sind zur eigentlichen Festkörperanalyse mit Hilfe von Elektronenstrahlen Energien von mindestens 1 bis 5 keV notwendig.

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Copyright information

© VEB Deutscher Verlag der Wissenschaften, Berlin 1979

Authors and Affiliations

  • G. Dworzak
    • 1
  1. 1.HalleDeutschland

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