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Zusammenfassung

Die Auger-Elektronenspektroskopie (AES) beruht auf der Deexzitation von in inneren Elektronensehalen ionisierten Atomen, wobei es zur Auslösung von Sekundärelektronen mit charakteristischen Energien kommt. Die beim Elektronenübergang in die primäre Lücke freiwerdende Energie wird in einem strahlungslosen Prozeß auf ein weiteres Elektron übertragen, das dann mit einer bestimmten kinetischen Energie das Atom verläßt. PIERRE AUGER [1] fand 1925 bei Wilson-Kammer-Aufnahmen der Ionisierung von Edelgasen durch Röntgenstrahlen solche Elektronen und gab für ihre Entstehung die richtige Erklärung. Im hier behandelten engeren Sinne wird die AES als analytische Methode zur Untersuchung von Festkörperoberflächen verstanden. Zur Anregung werden üblicherweise Elektronenstrahlen verwendet, die den Vorteü guter Fokussierbarkeit besitzen und deren Intensität leicht zu variieren ist. Die ausgelösten Auger-Elektronen werden im Energiebereich von 20–2000 eV analysiert, wobei die Abtrennung des starken Sekundärelektronenuntergrundes durch elektronische Differentiation vorgenommen wird. Wegen der durch inelastische Verluste begrenzten mittleren freien Weglänge der Auger-Elektronen im Festkörper tragen nur wenige Atomlagen an der Oberfläche zum Auger-Signal bei. Die hohe Oberflächenempfindlichkeit stellt den Hauptvorteil der AES dar, sie verlangt aber notwendigerweise ein Experimentieren unter Ultrahochvakuumbedingungen <10−7 Pa, um Kontaminationen während der Analyse zu vermeiden.

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Literatur

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Copyright information

© VEB Deutscher Verlag der Wissenschaften, Berlin 1979

Authors and Affiliations

  • M. Klaua
    • 1
  • G. Oertel
    • 2
  1. 1.HalleDeutschland
  2. 2.BerlinDeutschland

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