Zusammenfassung
Die Auger-Elektronenspektroskopie (AES) beruht auf der Deexzitation von in inneren Elektronensehalen ionisierten Atomen, wobei es zur Auslösung von Sekundärelektronen mit charakteristischen Energien kommt. Die beim Elektronenübergang in die primäre Lücke freiwerdende Energie wird in einem strahlungslosen Prozeß auf ein weiteres Elektron übertragen, das dann mit einer bestimmten kinetischen Energie das Atom verläßt. PIERRE AUGER [1] fand 1925 bei Wilson-Kammer-Aufnahmen der Ionisierung von Edelgasen durch Röntgenstrahlen solche Elektronen und gab für ihre Entstehung die richtige Erklärung. Im hier behandelten engeren Sinne wird die AES als analytische Methode zur Untersuchung von Festkörperoberflächen verstanden. Zur Anregung werden üblicherweise Elektronenstrahlen verwendet, die den Vorteü guter Fokussierbarkeit besitzen und deren Intensität leicht zu variieren ist. Die ausgelösten Auger-Elektronen werden im Energiebereich von 20–2000 eV analysiert, wobei die Abtrennung des starken Sekundärelektronenuntergrundes durch elektronische Differentiation vorgenommen wird. Wegen der durch inelastische Verluste begrenzten mittleren freien Weglänge der Auger-Elektronen im Festkörper tragen nur wenige Atomlagen an der Oberfläche zum Auger-Signal bei. Die hohe Oberflächenempfindlichkeit stellt den Hauptvorteil der AES dar, sie verlangt aber notwendigerweise ein Experimentieren unter Ultrahochvakuumbedingungen <10−7 Pa, um Kontaminationen während der Analyse zu vermeiden.
Access this chapter
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Preview
Unable to display preview. Download preview PDF.
Literatur
Übersichtsliteratur
Parilis, E. C.: Der Auger-Effekt, Aead. Sci. Uzbek. SSR, Taschkent 1969 (in Russ.).
Taylor, N. J., in: Techniques of Metal Research (Ed. R. F. Bunshah) Vol. 7, Interscience PubL, New York 1971.
Palmberg, P. W., in: Electron Spectroscopy (Ed.: D. A. Shirley), North Holland, Amsterdam 1972, S. 835ff.
Sevier, K. D.: Low Energy Electron Spectrometry, Wiley-Interscience, New York 1972.
Tracy, J. C, in: Electron Emission Spectroscopy (Eds.: W. Dekeyser et al.) Reidel Publ. Co., Dordrecht 1973, S. 295ff.
Ertl, G., Küppers, J.: Low Energy Electrons and Surface Chemistry, Verlag Chemie, Weinheim 1974.
Carlson, T. A.: Photoelectron and Auger Spectroscopy, Plenum Press, New York 1975.
Chattarji, D.: The Theory of the Auger Transitions, Academic Press, London 1976.
Haas, T. W., et al., in: Progress in Surface Science, Vol. 1(2), Pergamon Press, Oxford 1971, S. 156ff.
Kirschner, J., in: Electron Spectroscopy for Surface Analysis (Ed.: H. Ibach), Springer-Verlag, Berlin 1977, S. 92.
Originalliteratur
Auger, P., J. Phys. Radium 6 (1925) 205.
Burhop, E. H. S., The Auger Effect and Other Radiationless Transitions, Cambridge University Press, London 1952.
Bergstrom, I., Nordling, C., Alpha, Beta, Gamma Ray Spectroscopy (Ed.: K. Sieg-Bahn) Vol. 2, North Holland Publ. Co., Amsterdam 1965.
Chung, F. P., Jenkins, L. H., Surface Sic. 22 (1970) 479.
Bearden, J. A., Burr, A. F., Rev. Mod. Phys. 39 (1967) 125.
Coghlan, W. A., Clausing, R. E., Atomic Data 5 (1973) 317.
Asaad, W. N., Burhop, E. H., Proc. Phys. Soc. (London) 71 (1958) 369.
Asaad, W. N., Nucl. Phys. 66 (1965) 494.
Palmberg, P. W., et al.: Handbook of Auger Electron Spectroscopy, Physical Electronics Industr. Inc., Edina 1972.
Bauer, E., Vacuum 22 (1973) 539.
Chang, C. C., in: Characterization of Solid Surfaces (Eds.: P. F. Kane, G. R. Larrabee) Plenum Press, New York 1974, S. 509.
Joshi, A., Davis, L. E., Palmberg, P. W., in: Methods of Surface Analysis (Ed.: A. W. Czanderna), Elsevier Sci. Publ. Co., Amsterdam 1975, S. 159.
Palmberg, P. W., Anal. Chem. 45 (1973) 549 A.
Harris, L. A., Surface Sci. 15 (1969) 77.
Worthington, C. R., Tomlin, S. G., Proc. Phys. Soc. A 69 (1956) 401.
Bishop, H. E., Riviere, J. C., J. Appl. Phys. 40 (1969) 1740.
Glupe, G., Mehlhorn, W., Phys. Letters 25 A (1967) 244.
Vrakking, J. J., Meyer, F., Surface Sci. 47 (1975) 50.
Gallon, T. E., J. Phys. D 5 (1972) 822.
Gerlach, R. L., Ducharme, A. R., Surface Sci. 32 (1972) 329.
Asaad, W. N., Mehlhorn, W., Z. Phys. 217 (1968) 304.
Mcguire, E. J., Phys. Rev. A 5 (1972) 1043, 1052.
Ritchie, R. H., et al., Adv. in Radiation Biology 3 (1968) 1.
Seah, M. P., Surface Sci. 32 (1972) 703.
Brundle, C. R., J. Vac. Sci. Technol. 11 (1974) 212.
Mcdonnell, L., Woodruff, D. P., Holland, B. W., Surface Sci. 51 (1975) 249.
Aberdam, D., et al., Surface Sci. 57 (1976) 306.
Allié, G., Blanc, E., Dufayaed, D., Surface Sci. 57 (1976) 293.
Weeks, S. P., Liebsch, A., Surface Sci. 62 (1977) 197.
Harris, L. A., J. Appl. Phys. 39 (1968) 1419, 1428.
Thaep, L. N., Schelbner, E. J., J. Appl. Phys. 38 (1967) 3320.
Weber, R. E., Peria, W. T., J. Appl. Phys. 38 (1967) 4355.
Palmberg, P. W., Bohn, G. K., Teacy, J. C., Appl. Phys. Letters 15 (1969) 254.
Ignatiev, A., Rhodin, T. N., Intern. Laboratory Jan./Feb. (1973) 18.
Tayloe, N., Varian Rep. 59 (1970).
Chang, C. C., Surface Sci. 25 (1971) 53.
Palmberg, P. W., J. Vac. Sci. Teehnol. 9 (1972) 160.
Wehner, G. K., in: Methods of Surface Analysis (Ed: A. W. Czanderna) Elsevier Sci. Publ. Co., Amsterdam 1975, S. 5.
Mac Donald, N. C., in: Electron Microscopy: Physical Aspects (Eds.: D. Beaman, B. Siegel) Wiley, New York 1974, S. 431.
Venables, J. A., et al., Phil. Mag. 34 (1976) 495.
Staib, P., Vacuum 10 (1972) 481.
Huchital, D. A., Ridges, J. D., in: Electron Spectroscopy (Ed.: D. A. Shirley) North Holland Publ. Co., Amsterdam 1972, S. 79.
Palmberg, P. W., in: Electron Spectroscopy (Eds.: R. Caudano, J. Verbist) Elsevier Sci. Publ. Co., Amsterdam 1974, S. 691.
Le Gressus, C., Massignon, D., Sopizet, R., C. R. Acad. Sci. Paris 280 B (1975) 439.
Weber, R. E., Johnson, A. L., J. Appl. Phys. 40 (1969) 314.
Fiermanns, L., Vennik, J., Surface Sci. 38 (1973) 237.
Sickafus, E. N., Rev. Sci. Instrum. 42 (1971) 933.
Staib, P., Kirschner, J., Appl. Phys. 3 (1974) 421.
Hesse, R., Littmark, U., Staib, P., Appl. Phys. 11 (1976) 233.
Mularie, W. M., Peria, W. T., Surface Sci. 26 (1971) 125.
Amelio, G. F., Surface Sci. 22 (1970) 301.
Chang, C. C., Surface Sci. 48 (1975) 9.
Ertl, G., Küppers, J., Surface Sci. 24 (1971) 104.
Bauer, E., Z. Metallkunde 63 (1972) 437.
Salmeron, M., Baeo, A. M., Surface Sci. 49 (1975) 356.
Haas, T. W., Géant, J. T., Dooley Iii, G. J., J. Appl. Phys. 43 (1972) 1853.
Matthew, J. A., Komninos, Y., Surface Sci. 53 (1975) 716.
Joyce, B. A., Neave, J. R., Surface Sci. 27 (1971) 499.
Chaeig, J. M., Skinner, D. K., Surface Sci. 15 (1969) 277.
Ertl, G., Koch, J., in: Adsorption-Desorption Phenomena (Ed.: F. Ricca) Academic Press, New York 1972, S. 345.
Thomas, S., Haas, T. W., J. Vac. Sci. Technol. 9 (1972) 840.
Meyer, F., Vrakking, J. J., Surface Sci. 33 (1972) 271.
Bauer, E., Poppa, H., Thin Solid Films 12 (1972) 167.
Palmberg, P. W., Surface Sci. 25 (1971) 598.
Menzel, D., Surface Sci. 47 (1975) 370.
Bonzel, H. P., Surface Sci. 27 (1971) 387.
Betz, G., et al., J. Appl. Phys. 45 (1974) 5312.
Weber, R. E., J. Cryst. Growth 17 (1972) 342.
Mccarroll, J. J., Surface Sci. 53 (1975) 297.
Somorjai, G. A., Catal. Rev. 7 (1972) 87.
Pignot, T. P., Schmidt, L. D., Jaevis, N. L., J. Catal. 31 (1973) 145.
Harris, L. A., J. Appl. Phys. 39 (1968) 1428.
Chang, C. C., Quintana, G., J. Electron Spectrose. Relat. Phenom. 2 (1973) 363.
Wlldman, H. S., Howard, J. K., Ho, P. S., J. Vac. Sci. Technol. 12 (1975) 75.
Meinel, K., Klaua, M., Bethge, H., Thin Solid Films 34 (1975) 157.
Marcus, H. L., Palmberg, P. W., Trans. AIME 245 (1969) 1164.
Maecus, H. L., Hackett, L. H., Palmberg, P. W., ASTM-STP 499 (1972) 90.
Joshi, A., Scr. Met. 9 (1975) 251.
Joshi, A., Stein, D. F., Met. Trans. 1 (1970) 2543.
Johnson, W. C., et al., Scr. Met. 8 (1974) 971.
Joshi, A., Stehst, D. F., Corrosion 28 (1972) 321.
Morabito, J. M., Lewis, R. K., in: Methods of Surface Analysis (Ed.: A. D. Czanderna), Elsevier Sci. Publ. Co., Amsterdam 1975, S. 326.
Ergänzung während der Drucklegung
Roy, D., Carette, J. D., in: Electron Spectroscopy for Surface Analysis (Ed.: H. Ibach), Springer-Verlag, Berlin 1977, S. 13.
Bauer, E., in: Symposiumsberieht „Physik und Chemie der Kristalloberfläche“, Nova Acta Leopoldina NF (im Druck).
Frank, L., Vasina, P., J. Phys. E: Sci. Instrum. 12 (1979) im Druck.
Author information
Authors and Affiliations
Editor information
Rights and permissions
Copyright information
© 1979 VEB Deutscher Verlag der Wissenschaften, Berlin
About this chapter
Cite this chapter
Klaua, M., Oertel, G. (1979). Auger-Elektronenspektroskopie. In: Brümmer, O., Heydenreich, J., Krebs, K.H., Schneider, H.G. (eds) Handbuch Festkörperanalyse mit Elektronen, Ionen und Röntgenstrahlen. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-83622-9_14
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-83622-9_14
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag
Print ISBN: 978-3-528-08398-4
Online ISBN: 978-3-322-83622-9
eBook Packages: Springer Book Archive