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Oberflächen-Elektronenmikroskopie

  • J. Heydenreich
  • H. Johansen

Zusammenfassung

Parallel zur Durchstrahlungs-Elektronenmikroskopie, bei der eine Abbildung von Oberflächen nur mittelbar durch Anwendung der Abdruck- bzw. Dekorationstechnik möglich ist, werden in zunehmendem Maße elektronenoptische Verfahren zur Direktabbildung von Oberflächen eingesetzt. Als wichtigste Verfahren sind in diesem Zusammenhang die Oberflächen-Rasterelektronenmikroskopie, die Emissionsmikroskopie und die Spiegel-Elektronenmikroskopie zu nenen. Die Oberflächen-Rasterelektronenmikroskopie — im folgenden kurz als Raster-Elektronenmikroskopie (REM) bezeichnet— bietet dabei mit Abstand die universellsten Einsatzmöglichkeiten.

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Literatur

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Copyright information

© VEB Deutscher Verlag der Wissenschaften, Berlin 1979

Authors and Affiliations

  • J. Heydenreich
    • 1
  • H. Johansen
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  1. 1.HalleDeutschland

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