Advertisement

Durchstrahlungs-Elektronenmikroskopie

  • J. Heydenreich

Zusammenfassung

Elektronen mit Energien von 50–100 keV besitzen einerseits eine hinreichend kurze und es ist eine der Hauptaufgaben der elektronenmikroskopischen Präparationstechnik, durchstrahlbare Objektfolien aus dem massiven Untersuchungsmaterial zu gewinnen, z. B. durch Einsatz chemischer bzw. elektrochemischer Abdünnverfahren oder durch gezielte Anwendung der Ultradünnschnitt-Technik. Untersuchungsmöglichkeiten für Objektfolien mit einer Dicke bis zu einigen μm sind durch Nutzung der gerätetechnisch relativ aufwendigen Höchstspannungs-Elektronenmikroskopie (Elektronenenergie: 1 MeV) gegeben.

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur

Übersichtsliteratur

  1. —.
    Agar, A., et al.: Principles and practice of electron microscope operation, Amsterdam 1974.Google Scholar
  2. —.
    Ardenne, M. V.: Elektronen-Übermikroskopie, Berlin 1940.Google Scholar
  3. —.
    Borries, B. V.: Die Übermikroskopie, Berlin 1949.Google Scholar
  4. —.
    Brammer, I. S., Dewey, M. A. P.: Specimen preparation for electron metallography, Oxford 1966.Google Scholar
  5. —.
    Cosslett, V. E.: Practical electron microscopy, London 1951.Google Scholar
  6. —.
    Hall, C. E.: Introduction to electron microscopy, New York 1953.Google Scholar
  7. —.
    Hawkes, P. W.: Electron optics and electron microscopy, London 1972.Google Scholar
  8. —.
    Head, A. K., et al.: Computer electron micrographs and defect identification, Amsterdam 1973.Google Scholar
  9. —.
    Heidenreich, R. D.: Fundamentals of transmission electron microscopy, New York 1964.Google Scholar
  10. —.
    Heimendahl, M. V.: Einführung in die Elektronenmikroskopie: Verfahren zur Untersuchung von Werkstoffen und anderen Festkörpern, Braunschweig 1970.Google Scholar
  11. —.
    Hirsch, P. B., et al.: Electron microscopy of thin crystals, London 1965.Google Scholar
  12. —.
    Hornbogen, E.: Durchstrahlungs-Elektronenmikroskopie fester Stoffe, Weinheim 1971.Google Scholar
  13. —.
    Techniques for electron microscopy (Ed. D. Kay), Oxford 1961.Google Scholar
  14. —.
    Elektronnomikroskiceskie izobrazeniaj dislokacij i defektov upakovki (Hrsg.: V. M. Kose-vic, L. S. Palatnik), Moskau 1976.Google Scholar
  15. —.
    Loretto, M. H., Smallmann, R. E.: Defect analysis in electron microscopy, London 1975.Google Scholar
  16. —.
    Luk’janovic, V. M.: Elektronnaja mikroskopija v fizikochimiceskich issledovanijach, Moskau 1960.Google Scholar
  17. —.
    Traité de microscopie électronique (Ed. C. Maghan), Paris 1961.Google Scholar
  18. —.
    Mahl, H., Gölz, E.: Elektronenmikroskopie, Leipzig 1951.Google Scholar
  19. —.
    Müller, H.: Präparation von technisch-physikalischen Objekten für die elektronenmikroskopische Untersuchung, Leipzig 1962.Google Scholar
  20. —.
    Murr, L. E.: Electron optical applications in materials science, New York 1970.Google Scholar
  21. —.
    Nestler, K.-G.: Einführung in die Elektronenmetallographie: Eisen und Stahl, Leipzig 1961.Google Scholar
  22. —.
    Picht, J., Heydenreich, J.: Einführung in die Elektronenmikroskopie, Berlin 1966.Google Scholar
  23. —.
    Piljankevic, A. N.: Praktika elektronnojmikroskopii, Moskau 1961.Google Scholar
  24. —.
    Reimer, L.: Elektronenmikroskopische Untersuchungs-und Präparationsmethoden, Berlin 1959.Google Scholar
  25. —.
    Schimmel, G.: Elektronenmikroskopische Methodik, Berlin 1969.Google Scholar
  26. —.
    Methodensammlung der Elektronenmikroskopie (Hrsg. G. Schimmel, W. Vogell), Stuttgart 1973.Google Scholar
  27. —.
    Modern developments in electron microscopy (Ed. B. M. Siegel), New York 1964.Google Scholar
  28. —.
    Thomas, G.: Transmission electron microscopy of metals, New York 1962.Google Scholar
  29. —.
    Utevskij, L. M.: Difrakcionnaja elektronnaja mikroskopija v metallovedenii, Moskau 1973.Google Scholar
  30. —.
    Wischnitzer, S.: Introduction to electron microscopy, Oxford 1962.Google Scholar
  31. —.
    Wyckoff, R. W. G.: Electron microscopy: technique and applications, New York 1949.Google Scholar
  32. —.
    Zworykin, V. K., et al.: Electron optics and the electron microscope, London 1957.Google Scholar
  33. —.
    Monographs in practical electron microscopy in material science (Ed. J. W. Edington), London 1974-1976.Google Scholar

Originalliteratur

  1. [1]
    Hanssen, H. J., Morgenstern, B., Z. angew. Phys. 19 (1965) 215.Google Scholar
  2. [2]
    Lenz, F., Scheffels, W., Z. Naturf. 13a (1958) 226.Google Scholar
  3. [3]
    Molière, G., Z. Naturf. 2a (1947) 133.Google Scholar
  4. [4]
    Thomas, L. H., Proc. Camb. Phil. Soc. 23 (1926) 542.— Fermi, E., Z. Phys. 48 (1928) 73.CrossRefGoogle Scholar
  5. [5]
    Boersch, H., Ann. Phys. Leipzig 26 (1936) 631.CrossRefGoogle Scholar
  6. [6]
    Hirsch, P. B., Horne, R. W., Whelan, M. J., Phil. Mag. 1 (1956) 677.CrossRefGoogle Scholar
  7. [7]
    Bollmann, W., Phys. Rev. 103 (1956) 1588.CrossRefGoogle Scholar
  8. [8]
    Bauer, E.: Elektronenbeugung— Theorie und Praxis und industrielle Anwendung, München 1958.Google Scholar
  9. [9]
    Howie, A., Whelan, M. J., Proc. Roy. Soc. A 263 (1961) 217.Google Scholar
  10. [10]
    Howie, A., Whelan, M. J., Proc. Roy. Soc. A 267 (1962) 206.Google Scholar
  11. [11]
    Wilkens, M., phys. stat. sol. 6 (1964) 939.CrossRefGoogle Scholar
  12. [12]
    Wilkens, M., phys. stat. sol. 13 (1966) 529.CrossRefGoogle Scholar
  13. [13]
    Hashimoto, H., Howie, A., Whelan, M. J., Proc. Roy. Soc. A 269 (1962) 80.Google Scholar
  14. [14]
    Borries. B. VON, Lenz, F., Proc. Stockh. Conf. El. Micr. (1956), 60.Google Scholar
  15. [15]
    Uyeda, R., J. Phys. Soc. Jap. 10 (1955) 256.CrossRefGoogle Scholar
  16. [16]
    Menter, J. W., Proc. Roy. Soc. A 236 (1956) 119.Google Scholar
  17. [17]
    Cowley, J. M., Appl. Phys. Lett. 15 (1969) 58.CrossRefGoogle Scholar
  18. [18]
    Crewe, A. V., Wall, J., Optik (Stuttgart) 30 (1970) 461.Google Scholar
  19. [19]
    Boersch, H., Ann. Phys. Leipzig 27 (1936) 75.CrossRefGoogle Scholar
  20. [20]
    Le Poole, J. B., Philips Technische Rundschau 9 (1947) 33.Google Scholar
  21. [21]
    Thomson, G. P., Proc. Roy. Soc. A 117 (1928) 600; A 119 (1928) 651.Google Scholar
  22. [22]
    Lebedeff, A. A., Nature, Lond. 128 (1931) 491.CrossRefGoogle Scholar
  23. [23]
    Boersch, H., Z. techn. Phys. 20 (1939) 346.Google Scholar
  24. [24]
    Ruska, E., Z. Phys. 87 (1934) 580.CrossRefGoogle Scholar
  25. [25]
    Bobbies, B. VON, Ruska, E., Naturwissenschaften 27 (1939) 577; Z. wiss. Mikr. 56 (1939) 317.CrossRefGoogle Scholar
  26. [26]
    Uyeda, W., et al., J. appl. Phys. 43 (1972) 5181.CrossRefGoogle Scholar
  27. [27]
    Crewe, A. V., Wall, J., Welter, L. M., J. appl. Phys. 89 (1968) 5861.CrossRefGoogle Scholar
  28. [28]
    Crewe, A. V., Wall, J., Langmobe, J., Science 168 (1970) 1338.CrossRefGoogle Scholar
  29. [29]
    Hashimoto, H., et al., Jap. J. appl. Phys. 10 (1971) 1115.CrossRefGoogle Scholar
  30. [30]
    Ruska, H., Naturwissenschaften 27 (1939) 287.CrossRefGoogle Scholar
  31. [31]
    Bradley, D. E., Brit. J. appl. Phys. 5 (1954) 65.CrossRefGoogle Scholar
  32. [32]
    Mahl, H., Naturwissenschaften 30 (1942) 207.CrossRefGoogle Scholar
  33. [33]
    König, H., Ergebn. exakt. Naturwiss. 27 (1953) 188.CrossRefGoogle Scholar
  34. [34]
    Bassett, G. A., Phil. Mag. 3 (1958) 1042.CrossRefGoogle Scholar
  35. [35]
    Bethge, H., phys. stat. sol. 2 (1962) 3.CrossRefGoogle Scholar
  36. [36]
    Read, W. T., Dislocations in Crystals, London 1953.Google Scholar
  37. [37]
    Edmondson, B., Williamson, C. K., Phil. Mag. 9 (1964) 277.CrossRefGoogle Scholar
  38. [38]
    Cockayne, D. J. H., Ray, I. L. E., Whelan, M. J., Phil. Mag. 20 (1969) 1265.CrossRefGoogle Scholar
  39. [39]
    Amelinckx, S., The Study of Planar Interfaces by means of electron microscopy, in: Modern diffraction and imaging techniques in materials science (Eds.: S. Amelinckx et al.), Amsterdam 1970, S. 257 ff.Google Scholar
  40. [40]
    Head, A. K., Aust. J. Phys. 20 (1967) 557. Humble, P., Aust. J. Phys. 21 (1968) 325.CrossRefGoogle Scholar
  41. [41]
    Scheerschmidt, K., Heydenbeich, J., phys. stat. sol. (a) 42 (1977) 47.CrossRefGoogle Scholar

Ergänzung während der Drucklegung

  1. [42]
    Yoshida, H., Hashimoto, H., Yokota, Y., Proc. 9. Internat. Congr. Electron Microscopy (Toronto) 1 (1978) 306.Google Scholar
  2. [43]
    Cowley, J. W., Proc. 9. Internat. Congr. Electron Microscopy (Toronto) 3 (1978) 207.Google Scholar
  3. [44]
    Silcox, J., Ultramicroscopy 3 (1978) 409.CrossRefGoogle Scholar
  4. [45]
    Leapman, R. D., Ultramicroscopy 3 (1978) 413.CrossRefGoogle Scholar

Copyright information

© VEB Deutscher Verlag der Wissenschaften, Berlin 1979

Authors and Affiliations

  • J. Heydenreich
    • 1
  1. 1.HalleDeutschland

Personalised recommendations