Zusammenfassung
Drücke unterhalb Atmosphärendruck im Bereich der laminaren oder turbulenten Gasströmung werden mit Vakuumpumpen erzeugt, die im wesentlichen nach dem Verdrängungsprinzip arbeiten (Kapitel 5). In Druckbereichen p < 10−3 mbar sind diese Pumpen in der Regel nicht oder nur begrenzt anwendbar. Die hier verwendeten Pumpen arbeiten entweder nach dem Prinzip der Gassorption (Kapitel 8) oder nach dem Prinzip der Impulsübertragung mit Hilfe eines dampfförmigen Treibmittels (Treibmittelpumpen, Kapitel 6), wobei die Gasteilchen beim Abpumpen eine Vorzugsrichtung erhalten. Beide Pumpenarten haben in der Praxis vielseitige Verwendung gefunden: Sorptionspumpen erzeugen ein extrem sauberes Vakuum (s. z.B. Abschnitt 15.5), haben aber ihrer Wirkungsweise entsprechend nur ein begrenztes Gasaufnahmevermögen; Treibmittelpumpen zeigen keine derartige Begrenzung, können für praktisch beliebig hohe Saugvermögen gebaut werden, haben aber eine merkliche, vielfach störende Treibmittelrückströmung, die allerdings durch geeignete Dampfsperren (Baffle) (Abschnitt 6.4.3) erheblich — allerdings auf Kosten des Saugvermögens — herabgesetzt werden kann.
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Literatur
Gaede W., Ann. Physik (Leipzig), 41 (1913) 337 380
Holweck F., C. R. Acad. Science, Paris 177 (1923), 43
Siegbahn M., Arch. Math. Astr. Fys. 30B (1943)
Friesen, S., Rev. Scient. Instr. 11 (1940), 362
Becker W., Vakuum-Technik 7 (1958), 149 152. Vakuum-Technik 10 (1961), 199 204. Vakuum-Technik 15 (1966), 211 218 und 254 260. Vakuum 16 (1966(, 625 632. Le Vide 129 (1967), 152 156. Vakuum-Technik 17 (1968), 62 67
Henning, J. Vakuum 21 (1971), 523
Nesseldreher, W., Vakuum-Technik 20 (1971), 201
Henning, J., Vakuum-Technik 23 (1974), 65
Hablanian M. H., Adv. Vac. Science Techn. 1 (1960), 168
Finol H. J., SM Thesis, Dept. of Mech. Eng., Mass. Inst. Technol., Cambridge, Mass. (1958)
Kruger, Ch. H., SM Thesis, Dept. of Mech. Eng., Mass. Inst. Technol., Cambridge, Mass. (1960)
Kruger, Ch. H. und A. H. Shapiro, 7th Nat. Symp. Vac. Technol. Transact. (1960), 6
Kruger, Ch. H. und A. H. Shapiro, Rarefied Gas Dynamics, ed. L. Talbot, Academic Press (1961), 117
Maulbetsch, J. S. und A. H. Shapiro, SM Thesis, Dept of Mech. Eng., Mass. Inst. Technol., Cambridge, Mass. (1963)
Zelbstein U Ing. et Techn. 215 (1967) 87
Rubet L. H. Garnier und M. Rousseau Coll. Int. sur L’Ultravide Paris (1967) 104
Rubet L. Le Vide 123 (1966) 227
Garnier H. Entropie 8 (1966) 65
Frank R., J. Techn. Vide Transact. Suppl. Le Vide 157 (1972), 257
Frank, R. und K. Teutenberg, Vuoto 5 (1972), 195
Mirgel, K. H., J. Vac. Science and Techn. 9 (1972), 408
Frank, R., W. Bächler und E. Usselmann, J. Techn. Vide Transact. Suppl. Le Vide 169 (1974), 229
Frank, R., Electron Fisc. Appl. 17 (1974), 16; Vakuum-Technik 23 (1974), 109
Frank, R., W. Bächler und E. Usselmann, Press 6th Int. Vaccuum Congr. (1974), Japan; J. Appl. Phys. Suppl. 2 (1974), 13
Frank R. und E. Usselmann, Vakuum-Technik 25 (1976), 141
Maurice L., Proc. 6th Intern. Vacuum Congr. 1974, Japan, J. Appl. Phys. Suppl. 2,1 (1974), 21
PNEUROP, Vakuumpumpen, Abnahmergeln, Teil III. Maschinenbauverlag GmbH., 6 Frankfurt-Niederrad, Lyoner Straße 18, Bestell-Nr. 5608 (1973)
Henning H. H. und H. P. Caspar, Vakuum-Technik 31 (1982), 109.113
Henning H. H. und G. Knorr, Proc. 8. Intern. Vac.-Congr., Cannes 1980, Suppl. à 1a Revue „Le Vide et les couches minces“, No. 201, 283 ff.
Osterstrom A. E., J. Vac. Sci. Techn. A 1 (1983), No. 2, 224 227
Bernhardt K. H., J. Vac. Sci. Techn. A 1 (1983), No. 2, 136 139
Chu T. G. und Z. X. Hua, J. Vac. Sci. Techn. 20 (1982), 4, 1101 1104
Bieger W. et al., Vakuum-Technik 28 (1979), 34 40
Becker W. und J. Henning, Vakuum-Technik 27 (1978), 6 8
Nishidé A. et al., J. Vac. Sci. Techn. 20 (1982), 4, 1105 1108
Becker W. und K. H. Bernhardt, Proc. 9. Intern. Vakuum-Kongreß, Madrid, 1983, 212 216
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Wutz, M., Adam, H., Walcher, W. (1988). Molekularpumpen. In: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-83543-7_7
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