Experimentelle Methoden der Untersuchung von Elektronen-und Ionenstrahlen

Zusammenfassung

Die Verfügbarkeit numerischer Methoden zur Berechnung und Projektierung von elektronen- und ionenoptischen Systemen führte zur Ausarbeitung anspruchsvoller mathematischer Modelle. Damit wurde es möglich, intensive Elektronen- und Ionenstrahlen unter Bedingungen zu modellieren, die den realen sehr nahekommen. Dies bewirkte eine Erhöhung der Genauigkeit und der Zuverlässigkeit entsprechender Berechnungen, wobei die erforderliche Zeit zur Optimierung von Lösungen bei wachsender Qualität der Projektierung von elektronen- und ionenoptischen Systemen gesenkt werden konnte.