Skip to main content

Excimer lasers

  • Chapter
  • First Online:
Tunable Lasers

Part of the book series: Topics in Applied Physics ((TAP,volume 59))

  • 145 Accesses

Abstract

The development of excimer lasers in recent years has been extremely rapid. Output pulse powers of several GW, mean powers of 25 W, and repetition rates of > 1 kHz have been produced. Lasers have been developed whose spectral, spatial, and temporal characteristics are limited only by fundamental physical principles, and these lasers are now openng up new areas of non-linear optics. Excimer lasers, especially rare-gas halide lasers, will become increasingly important as a primary source of intense, tunable uv laser radiation.

With 24 Figures

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this chapter

Institutional subscriptions

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

References

  1. W. N. Hartley, H. Ramage: R. Dublin Soc. Trans. 7, 339 (1901)

    Google Scholar 

  2. R. W. Wood: Phil. Mag. 18, 240 (1909)

    Google Scholar 

  3. Lord Rayleigh: Proc. Roy. Soc. London A 116, 702 (1927)

    Google Scholar 

  4. F. G. Houtermans: Helv. Phys. Acta 33, 933 (1960)

    Google Scholar 

  5. N. G. Basov, V. A. Danilychev, Yu. M. Popov, D. D. Khodkevich: J.E.T.P. Lett. 12, 329 (1970)

    Google Scholar 

  6. H. A. Koehler, L. J. Ferderber, D. L. Redhead, P. J. Ebert: Appl. Phys. Lett. 21, 198 (1972)

    Google Scholar 

  7. P. W. Hoff, J. C. Swingle, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 23, 245 (1973)

    Google Scholar 

  8. W. M. Hughes, J. Shannon, R. Hunter: Appl. Phys. Lett. 24, 488 (1974)

    Google Scholar 

  9. L. A. Kuznetsova, Y. Y. Kugyarkov, V. A. Shpanskii, V. M. Shutoretskii: Vestn. Mosk. Univ. Ser II Khim 19 (1964)

    Google Scholar 

  10. C. A. Brau: In Excimer Lasers, 2nd. ed., ed. C. K. Rhodes, Topics Appl. Phys., Vol. 30 (Springer Berlin, Heidelberg 1984) Chap. 4

    Google Scholar 

  11. J. J. Ewing: In Laser Handbook, Vol. 3 (North-Holland, Amsterdam, 1979)

    Google Scholar 

  12. M. J. Shaw: Progr. Quantum Electron. 6, 3 (1979)

    Google Scholar 

  13. M. H. R. Hutchinson: Appl. Phys. 21, 95 (1980)

    Google Scholar 

  14. J. J. Hopfield: Phys. Rev. 35, 1133 (1930); Astrophys. J. 72, 133 (1930)

    Google Scholar 

  15. Y. Tanaka, A. S. Jursa, F. J. LeBlanc: J. Opt. Soc. Am. 48, 304 (1958)

    Google Scholar 

  16. M. L. Ginter: J. Chem. Phys. 42, 561 (1965)

    Google Scholar 

  17. Y. Tanaka, K. Yoshino: J. Chem. Phys. 50, 3087 (1969)

    Google Scholar 

  18. R. S. Mulliken: J. Am. Chem. Soc. 91, 4615 (1969)

    Google Scholar 

  19. B. Liu: Phys. Rev. Lett. 27, 1251 (1971)

    Google Scholar 

  20. S. L. Guberman, W. A. Goddard: Chem. Phys. Lett. 14, 460 (1972)

    Google Scholar 

  21. M. L. Ginter, R. Battino: J. Chem. Phys. 52, 4469 (1970)

    Google Scholar 

  22. R. S. Mulliken: J. Chem. Phys. 32, 5170 (1970)

    Google Scholar 

  23. T. L. Barr, D. Dee, F. R. Gilmore: J. Quant. Spect. Rad. Trans. 15, 625 (1975)

    Google Scholar 

  24. R. C. Michaelson, A. L. Smith: J. Chem. Phys. 61, 2566 (1974)

    Google Scholar 

  25. E. H. Fink, F. J. Comes: Chem. Phys. Lett. 30, 267 (1975)

    Google Scholar 

  26. F. H. Mies: Mol. Phys. 26, 1233 (1973)

    Google Scholar 

  27. R. L. Platzman: Intern. J. Appl. Rad. Isotopes 10, 116 (1961)

    Google Scholar 

  28. H. Powell, J. Murray: Lawrence Livermore Laboratory Annual Report, UCRL-50021-75, 502 (l975)

    Google Scholar 

  29. C. W. Werner, E. V. George, P. W. Hoff, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 25, 235 (1974)

    Google Scholar 

  30. E. V. George, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 23, 139 (1973)

    Google Scholar 

  31. D. C. Lorents: Physica 82C, 19 (1976)

    Google Scholar 

  32. G. R. Fournier: Opt. Commun. 13, 385 (1975)

    Google Scholar 

  33. M. H. R. Hutchinson: Inst. Phys. Conf. Ser. 29, 109 (1976)

    Google Scholar 

  34. C. W. Werner, E. V. George, P. W. Hoff, C. K. Rhodes: IEEE J. QE-13, 769 (1977)

    Google Scholar 

  35. D. Ton-That, M. R. Flannery: Phys. Rev. A15, 517 (1977)

    Google Scholar 

  36. A. K. Bhattacharya: Appl. Phys. Lett. 17, 521 (1970)

    Google Scholar 

  37. A. P. Vitols, H. J. Oskam: Phys. Rev. A8, 1860 (1973)

    Google Scholar 

  38. D. Smith, A. G. Dean, I. C. Plumb: J. Phys. B5, 2134 (1972)

    Google Scholar 

  39. J. J. Lennon, M. C. Sexton: J. Electronics and Control 1, 123 (1959)

    Google Scholar 

  40. H. J. Oskam, V. R. Mittlestadt: Phys. Rev. 132, 1445 (1963)

    Google Scholar 

  41. J. N. Bardsley, M. A. Biondi: Adv. At. Mol. Phys. 6, 2 (1970)

    Google Scholar 

  42. C. J. Freeman, M. J. McEwan, R. F. Claridge, L. F. Phillips: Chem. Phys. Lett. 10, 530 (1971)

    Google Scholar 

  43. P. R. Tumpson, J. M. Anderson: Can. J. Phys. 48, 1817 (1970)

    Google Scholar 

  44. J. W. Keto, R. E. Gleason, Jr., T. D. Bonfield, G. W. Walters, F. K. Soley: Chem. Phys. Lett. 42, 125 (l976)

    Google Scholar 

  45. A. Johnson, J. B. Gerardo: J. Chem. Phys. 59, 1738 (1973)

    Google Scholar 

  46. E. Zamir, C. W. Werner, W. P. Lapatovich, E. V. George: Appl. Phys. Lett. 27, 56 (1975)

    Google Scholar 

  47. J. W. Keto, R. E. Gleason, G. K. Walters: Phys. Rev. Lett. 33, 1375 (1974)

    Google Scholar 

  48. O. Cheshnovsky, A. Gedanken, B. Raz, J. Jortner: Chem. Phys. Lett. 22, 23 (1973)

    Google Scholar 

  49. E. R. Ault, R. S. Bradford, M. L. Blaumik: (unpublished)

    Google Scholar 

  50. R. O. Hunter, J. Shannon, W. Hughes: Maxwell Laboratories Report MLR-378 (1975)

    Google Scholar 

  51. C. E. Turner: Appl. Phys. Lett. 31, 659 (1977)

    Google Scholar 

  52. M. H. R. Hutchinson, M. R. O. Jones: (unpublished)

    Google Scholar 

  53. W. G. Wrobel, H. Rohr, K. H. Steuer: Appl. Phys. Lett. 36, 113 (1980)

    Google Scholar 

  54. For a review see M. F. Golde: Gas Kinetics and Energy Transfer 2, 123 (1977)

    Google Scholar 

  55. J. J. Ewing, C. A. Brau: Phys. Rev. A 12, 129 (1975)

    Google Scholar 

  56. C. A. Brau, J. J. Ewing: J. Chem. Phys. 63, 4640 (1976)

    Google Scholar 

  57. J. Tellinghuisen, J. M. Hoffman, G. C. Tisone, A. K. Hays: J. Chem. Phys. 64, 2484 (1976)

    Google Scholar 

  58. J. Tellinghuisen, A. K. Hays, J. M. Hoffman, G. C. Tisone: J. Chem. Phys. 65, 4473 (1976)

    Google Scholar 

  59. J. Tellinghuisen, P. C. Tellinghuisen, G. C. Tisone, J. M. Hoffman, A. K. Hays: J. Chem. Phys. 68, 5l77 (l978)

    Google Scholar 

  60. P. C. Tellinghuisen, J. Tellinghuisen, J. A. Coxon, J. E. Velagos, D. W. Setser: J. Chem. Phys. 68, 5l87 (l978)

    Google Scholar 

  61. T. H. Dunning, Jr., P. J. Hay: Appl. Phys. Lett. 28, 649 (1976)

    Google Scholar 

  62. P. J. Hay, T. H. Dunning Jr.: J. Chem. Phys. 66, 1306 (1977)

    Google Scholar 

  63. P. J. Hay, T. H. Dunning Jr.: J. Chem. Phys. 69, 2209 (1978)

    Google Scholar 

  64. L. A. Gundel, D. W. Setser, M. A. A. Clyrre, J. A. Coxon, W. Nip: J. Chem. Phys. 64, 4390 (l976)

    Google Scholar 

  65. R. W. Waynant: Appl. Phys. Lett. 30, 234 (1977)

    Google Scholar 

  66. J. E. Velazeo, J. H. Kolts, D. W. Setser: J. Chem. Phys. 65, 3468 (1976)

    Google Scholar 

  67. D. C. Hogan, R. Bruzzese, A. J. Kearsley, C. E. Webb: J. Phys. D14, L157 (1981)

    Google Scholar 

  68. N. G. Basov, V. S. Zuev, A. V. Kanev, L. D. Mikheev, D. B. Shavrovskii: Sov. J. Quantum. Electron. 10, 1561 (1980)

    Google Scholar 

  69. C. A. Brau, J. J. Ewing: J. Chem. Phys. 63, 4640 (l975)

    Google Scholar 

  70. J. R. Murray, H. T. Powell: Appl. Phys. Lett. 29, 252 (1976)

    Google Scholar 

  71. R. Shuker: Appl. Phys. Lett. 29, 285 (1976)

    Google Scholar 

  72. G. P. Quigley, W. M. Hughes: Appl. Phys. Lett. 32, 649 (1978)

    Google Scholar 

  73. R. Burnham, S. K. Searles: J. Chem. Phys. 67, 5967 (1977)

    Google Scholar 

  74. R. Burnham, N. W. Harris: J. Chem. Phys. 66, 2742 (1977)

    Google Scholar 

  75. J. G. Eden, S. K. Searles: Appl. Phys. Lett. 30, 287 (1977)

    Google Scholar 

  76. J. G. Eden, R. W. Waynant: Opt. Lett. 2, 13 (1978)

    Google Scholar 

  77. T. H. Dunning Jr., P. J. Hay: J. Chem. Phys. 69, 134 (1979)

    Google Scholar 

  78. R. W. Waynant, J. G. Eden: IEEE J. QE-15, 61 (1978)

    Google Scholar 

  79. M. Rokni, J. H. Jacob, J. A. Mangaro, R. Brochu: Appl. Phys. Lett. 30, 458 (1977)

    Google Scholar 

  80. Yu. A. Kudryartsev, N. P. Kuzmina: Appl. Phys. 13, 107 (1977)

    Google Scholar 

  81. R. M. Hill, P. L. Trevor, D. L. Huestis, D. C. Lorents: Appl. Phys. Lett. 34, 137 (1979)

    Google Scholar 

  82. S. K. Searles, G. A. Hart: Appl. Phys. Lett. 27, 243 (1975)

    Google Scholar 

  83. W. K. Bischel, H. H. Nakano, D. J. Eckstrom, R. M. Hill, D. L. Huestis, D. C. Lorents: Appl. Phys. Lett. 34, 565 (1979)

    Google Scholar 

  84. W. B. Lacina, D. B. Cohn: Appl. Phys. Lett. 32, 106 (1978)

    Google Scholar 

  85. T. H. Johnson, A. M. Hunter: J. Appl. Phys. 51, 2406 (1980)

    Google Scholar 

  86. F. Kannari, M. Obara, T. Fujioka: J. Appl. Phys. 53, 135 (1982)

    Google Scholar 

  87. M. R. Flannery, T. P. Yang: Appl. Phys. Lett. 32, 327 (1978)

    Google Scholar 

  88. M. Rokni, J. A. Mangan, J. H. Jacob, J. C. Hsia: IEEE J. QE-14, 464 (1978)

    Google Scholar 

  89. Hao-Lin Chen, R. E. Center, D. W. Trainor, W. I. Fyfe: Appl. Phys. Lett. 30, 99 (1977)

    Google Scholar 

  90. W.-C. F. Liu, D. C. Conway: J. Chem. Phys. 60, 784 (1974)

    Google Scholar 

  91. D. Smith, P. R. Cromey: J. Phys. B 1, 638 (1968)

    Google Scholar 

  92. J. C. Cronin, M. C. Sexton: J. Phys. D 1, 863 (1969)

    Google Scholar 

  93. M. R. Flannery, T. P. Yang: Appl. Phys. Lett. 32, 356 (1978)

    Google Scholar 

  94. D. K. Bohme, N. G. Adams, M. Moselman, D. B. Dunkin, E. E. Ferguson: J. Chem. Phys. 52, 5094 (1970)

    Google Scholar 

  95. M. Rokni, J. H. Jacob, J. A. Mangano, R. Brochu: Appl. Phys. Lett. 31, 79 (1977)

    Google Scholar 

  96. L. G. Piper, J. E. Velazes, D. W. Setser: J. Chem. Phys. 59, 3323 (1973)

    Google Scholar 

  97. C.-H. Chen, M. G. Payne: IEEE J. QE-15, 149 (1979)

    Google Scholar 

  98. J. G. Eden, R. W. Waynant, S. K. Searles, R. Burnham: Appl. Phys. Lett. 32, 733 (1978)

    Google Scholar 

  99. V. H. Shui: Appl. Phys. Lett. 31, 50 (1977)

    Google Scholar 

  100. M. Rokni, J. H. Jacob, J. A. Mangano: Phys. Rev. A 16, 2216 (1977)

    Google Scholar 

  101. G. P. Quigley, W. M. Hughes: Appl. Phys. Lett. 32, 649 (1978)

    Google Scholar 

  102. A. M. Hawryluk, J. A. Mangano, J. H. Jacob: Appl. Phys. Lett. 31, 164 (1977)

    Google Scholar 

  103. R. K. Steunenberg, R. C. Vogel: J. Am. Chem. Soc. 78, 901 (1956)

    Google Scholar 

  104. A. Mandl: Phys. Rev. A3, 251 (1971)

    Google Scholar 

  105. W. J. Stevens, M. Gardner, A. Karo: J. Chem. Phys. 67, 2860 (1977)

    Google Scholar 

  106. W. R. Wadt, D. C. Cartwright, J. S. Cohen: Appl. Phys. Lett. 31, 672 (1977)

    Google Scholar 

  107. H. A. Hyman: Appl. Phys. Lett. 31, 14 (1977)

    Google Scholar 

  108. W. R. Wadt, P. J. Hay: J. Chem. Phys. 68, 3850 (1978)

    Google Scholar 

  109. J. F. Eden, R. S. F. Chang, L. J. Palumbo: J. QE-15, 1146 (1979)

    Google Scholar 

  110. A. Luches, V. Nassisi, A. Perrone, M. R. Perrone: Opt. Commun. A4, 109 (1982)

    Google Scholar 

  111. M. J. Shaw, J. D. C. Jones: Appl. Phys. 14, 393 (1977)

    Google Scholar 

  112. H. H. Michels, R. H. Hobbs, L. A. Wright: J. Chem. Phys. 71, 5053 (1979)

    Google Scholar 

  113. J. H. Kolts, J. E. Velazco, D. W. Setser: J. Chem. Phys. 71, 1247 (1979)

    Google Scholar 

  114. C. B. Collins, F. W. Lee: J. Chem. Phys. 72, 5381 (1980)

    Google Scholar 

  115. D. Kligler, H. H. Nakano, D. L. Huestis, W. K. Bishel, R. M. Hill, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 3, 39 (1978)

    Google Scholar 

  116. M. Allan, S. F. Wong: J. Chem. Phys.

    Google Scholar 

  117. W. V. Kurepa, D. S. Belic: J. Phys. B 11, 3719 (1978)

    Google Scholar 

  118. W. E. Ernst, F. K. Tittel: Appl. Phys. Lett. 35, 36 (1979)

    Google Scholar 

  119. J. D. Campbell, C. H. Fisher, R. E. Center: Appl. Phys. Lett. 37, 348 (1980)

    Google Scholar 

  120. R. Burnham: Appl. Phys. Lett. 35, 48 (1979)

    Google Scholar 

  121. C. H. Fisher, R. E. Center, G. J. Mullaney, J. P. McDaniel: Appl. Phys. Lett. 35, 26 (1979)

    Google Scholar 

  122. D. J. Eckstrom, H. C. Walker: IEEE J. QE-18, 176 (1982)

    Google Scholar 

  123. P. J. Chantry: In Applied Atomic Collision Physics, Vol. 3 Gas Lasers (Academic, New York 1982)

    Google Scholar 

  124. J. E. Velazco, J. H. Kolts, D. W. Setsir: J. Chem. Phys. 69, 4357 (1978)

    Google Scholar 

  125. W. L. Nighan, Y. Nachshon, F. K. Tittel, W. L. Wilson: Appl. Phys. Lett. 42, 1006 (1983)

    Google Scholar 

  126. D. L. Huestes, G. Marowsky, F. K. Tittel: In Excimer Lasers, 2nd ed., ed. by Ch. K. Rhodes, Topics Appl. Phys., Vol. 30 (Springer, Berlin, Heidelberg 1984) Chap. 6

    Google Scholar 

  127. F. K. Tittel, W. L. Wilson, R. E. Stickel, G. Marowsky, W. E. Ernst: Appl. Phys. Lett. 36, 405 (1980)

    Google Scholar 

  128. F. K. Tittel, G. Marowsky, M. C. Smayling, W. L. Wilson: Appl. Phys. Lett. 37, 862 (1980)

    Google Scholar 

  129. M. L. Bhaumik, R. S. Bradford, Jr., E. R. Ault: Appl. Phys. Lett. 28, 23 (1976)

    Google Scholar 

  130. R. G. Caro, M. C. Gower, C. E. Webb: J. Phys. D 15, 767 (1982)

    Google Scholar 

  131. J. Coutts, C. E. Webb: J. Appl. Phys. 59, 704 (1986)

    Google Scholar 

  132. R. S. Taylor, P. B. Corkum, S. Watanabe, K. Leopold, A. J. Alcock: IEEE J. QE-19, 416 (1983)

    Google Scholar 

  133. S. C. Lin, J. I. Leratter: Appl. Phys. Lett. 34, 505 (1979)

    Google Scholar 

  134. M. R. Osborne, P. W. Smith, M. H. R. Hutchinson: Opt. Commun. 52, 415 (1985)

    Google Scholar 

  135. J. A. Mangano, J. H. Jacob: Appl. Phys. Lett. 27, 495 (1975)

    Google Scholar 

  136. M. Casey, P. W. Smith, M. H. R. Hutchinson: Rev. Sci. Instrum. 54, 458 (1983)

    Google Scholar 

  137. J. D. Daugherty, J. A. Mangano, J. H. Jacob: Appl. Phys. Lett. 28, 581 (1976)

    Google Scholar 

  138. Lawrence Livermore National Laboratory: Laser Laboratory Annual Report-UCRL50021-80 (1980)

    Google Scholar 

  139. K. T. V. Grattan, M. H. R. Hutchinson, K. J. Thomas: Opt. Commun. 39, 303 (1981)

    Google Scholar 

  140. J. H. Jacob, D. W. Trainor, M. Rokni, J. C. Hsia: Appl. Phys. Lett. 37, 522 (1980)

    Google Scholar 

  141. T. R. Loree, K. B. Butterfield, D. L. Barker: Appl. Phys. Lett. 32, 171 (1978)

    Google Scholar 

  142. J. Boker, J. Zavelovich, C. K. Rhodes: Phys. Rev. A21, 1453 (1980)

    Google Scholar 

  143. Lambda Physik GmbH

    Google Scholar 

  144. J. N. Ross: (private communication)

    Google Scholar 

  145. J. Goldhar, J. R. Murray: Opt. Lett. 1, 199 (1977)

    Google Scholar 

  146. J. Goldhar, W. R. Rapoport, J. R. Murray: IEEE J. QE-16, 235 (1980)

    Google Scholar 

  147. J. Goldhar, M. W. Taylor, J. R. Murray: IEEE J. QE-20, 772 (1984)

    Google Scholar 

  148. M. C. Gower: Rutherford Appleton Laboratory Annual Report RL-83-043 (1983)

    Google Scholar 

  149. I. J. Bigio, M. Slalkine: Opt. Lett. 6, 36 (1981)

    Google Scholar 

  150. M. C. Gower, R. G. Caro: Rutherford Appleton Laboratory Annual Report RL-82-039 (1982)

    Google Scholar 

  151. H. Egger, T. Srinivasan, K. Hohla, H. Scheingraber, C. R. Vidal, H. Pummer, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 39, 37 (1981)

    Google Scholar 

  152. R. T. Hawkins, H. Egger, J. Boker, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 36, 391 (1980)

    Google Scholar 

  153. J. C. White, J. Bokor, R. R. Freeman, D. Henderson: Opt. Lett. 6, 293 (1981)

    Google Scholar 

  154. H. Egger, T. S. Luk, K. Boyer, D. F. Muller, H. Pummer, T. Srinivasan, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 41, 1032 (1982)

    Google Scholar 

  155. T. S. Luk, H. Pummer, K. Boyer, M. Shahidi, H. Egger, C. K. Rhodes: Phys. Rev. Lett. 51, 110 (1983)

    Google Scholar 

  156. H. Pummer, H. Egger, T. S. Luk, T. Srinivasan, C. K. Rhodes: Phys. Rev. A28, 795 (1983)

    Google Scholar 

  157. T. Srinivasan, H. Egger, H. Pummer, C. K. Rhodes: IEEE J. QE-19, 1270 (1983)

    Google Scholar 

  158. R. C. Sze, P. B. Scott: Appl. Phys. Lett. 33, 419 (1978)

    Google Scholar 

  159. C. D. Cooper, M. D. Lichtenstein: Phys. Rev. 109, 2026 (1958)

    Google Scholar 

  160. P. S. Julienne, M. Krauss, W. J. Stevens: Chem. Phys. Lett. 38, 174 (1976)

    Google Scholar 

  161. H. T. Powell, J. R. Murray, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 25, 730 (1974)

    Google Scholar 

  162. H. T. Powell, J. R. Murray, C. K. Rhodes: IEEE J. QE-11, 27D (1975)

    Google Scholar 

  163. H. Powell: 8th Winter Colloquium on High Power Visible Lasers, Park City, Utah (1977)

    Google Scholar 

Download references

Authors

Editor information

Linn F. Mollenauer Jonathan C. White Clifford R. Pollock Ph.D.

Rights and permissions

Reprints and permissions

Copyright information

© 1992 Springer-Verlag

About this chapter

Cite this chapter

Henry, M., Hutchinson, R. (1992). Excimer lasers. In: Mollenauer, L.F., White, J.C., Pollock, C.R. (eds) Tunable Lasers. Topics in Applied Physics, vol 59. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/3-540-55571-4_2

Download citation

  • DOI: https://doi.org/10.1007/3-540-55571-4_2

  • Published:

  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

  • Print ISBN: 978-3-540-55571-1

  • Online ISBN: 978-3-540-47165-3

  • eBook Packages: Springer Book Archive

Publish with us

Policies and ethics