Abstract
The development of excimer lasers in recent years has been extremely rapid. Output pulse powers of several GW, mean powers of 25 W, and repetition rates of > 1 kHz have been produced. Lasers have been developed whose spectral, spatial, and temporal characteristics are limited only by fundamental physical principles, and these lasers are now openng up new areas of non-linear optics. Excimer lasers, especially rare-gas halide lasers, will become increasingly important as a primary source of intense, tunable uv laser radiation.
With 24 Figures
Preview
Unable to display preview. Download preview PDF.
References
W. N. Hartley, H. Ramage: R. Dublin Soc. Trans. 7, 339 (1901)
R. W. Wood: Phil. Mag. 18, 240 (1909)
Lord Rayleigh: Proc. Roy. Soc. London A 116, 702 (1927)
F. G. Houtermans: Helv. Phys. Acta 33, 933 (1960)
N. G. Basov, V. A. Danilychev, Yu. M. Popov, D. D. Khodkevich: J.E.T.P. Lett. 12, 329 (1970)
H. A. Koehler, L. J. Ferderber, D. L. Redhead, P. J. Ebert: Appl. Phys. Lett. 21, 198 (1972)
P. W. Hoff, J. C. Swingle, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 23, 245 (1973)
W. M. Hughes, J. Shannon, R. Hunter: Appl. Phys. Lett. 24, 488 (1974)
L. A. Kuznetsova, Y. Y. Kugyarkov, V. A. Shpanskii, V. M. Shutoretskii: Vestn. Mosk. Univ. Ser II Khim 19 (1964)
C. A. Brau: In Excimer Lasers, 2nd. ed., ed. C. K. Rhodes, Topics Appl. Phys., Vol. 30 (Springer Berlin, Heidelberg 1984) Chap. 4
J. J. Ewing: In Laser Handbook, Vol. 3 (North-Holland, Amsterdam, 1979)
M. J. Shaw: Progr. Quantum Electron. 6, 3 (1979)
M. H. R. Hutchinson: Appl. Phys. 21, 95 (1980)
J. J. Hopfield: Phys. Rev. 35, 1133 (1930); Astrophys. J. 72, 133 (1930)
Y. Tanaka, A. S. Jursa, F. J. LeBlanc: J. Opt. Soc. Am. 48, 304 (1958)
M. L. Ginter: J. Chem. Phys. 42, 561 (1965)
Y. Tanaka, K. Yoshino: J. Chem. Phys. 50, 3087 (1969)
R. S. Mulliken: J. Am. Chem. Soc. 91, 4615 (1969)
B. Liu: Phys. Rev. Lett. 27, 1251 (1971)
S. L. Guberman, W. A. Goddard: Chem. Phys. Lett. 14, 460 (1972)
M. L. Ginter, R. Battino: J. Chem. Phys. 52, 4469 (1970)
R. S. Mulliken: J. Chem. Phys. 32, 5170 (1970)
T. L. Barr, D. Dee, F. R. Gilmore: J. Quant. Spect. Rad. Trans. 15, 625 (1975)
R. C. Michaelson, A. L. Smith: J. Chem. Phys. 61, 2566 (1974)
E. H. Fink, F. J. Comes: Chem. Phys. Lett. 30, 267 (1975)
F. H. Mies: Mol. Phys. 26, 1233 (1973)
R. L. Platzman: Intern. J. Appl. Rad. Isotopes 10, 116 (1961)
H. Powell, J. Murray: Lawrence Livermore Laboratory Annual Report, UCRL-50021-75, 502 (l975)
C. W. Werner, E. V. George, P. W. Hoff, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 25, 235 (1974)
E. V. George, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 23, 139 (1973)
D. C. Lorents: Physica 82C, 19 (1976)
G. R. Fournier: Opt. Commun. 13, 385 (1975)
M. H. R. Hutchinson: Inst. Phys. Conf. Ser. 29, 109 (1976)
C. W. Werner, E. V. George, P. W. Hoff, C. K. Rhodes: IEEE J. QE-13, 769 (1977)
D. Ton-That, M. R. Flannery: Phys. Rev. A15, 517 (1977)
A. K. Bhattacharya: Appl. Phys. Lett. 17, 521 (1970)
A. P. Vitols, H. J. Oskam: Phys. Rev. A8, 1860 (1973)
D. Smith, A. G. Dean, I. C. Plumb: J. Phys. B5, 2134 (1972)
J. J. Lennon, M. C. Sexton: J. Electronics and Control 1, 123 (1959)
H. J. Oskam, V. R. Mittlestadt: Phys. Rev. 132, 1445 (1963)
J. N. Bardsley, M. A. Biondi: Adv. At. Mol. Phys. 6, 2 (1970)
C. J. Freeman, M. J. McEwan, R. F. Claridge, L. F. Phillips: Chem. Phys. Lett. 10, 530 (1971)
P. R. Tumpson, J. M. Anderson: Can. J. Phys. 48, 1817 (1970)
J. W. Keto, R. E. Gleason, Jr., T. D. Bonfield, G. W. Walters, F. K. Soley: Chem. Phys. Lett. 42, 125 (l976)
A. Johnson, J. B. Gerardo: J. Chem. Phys. 59, 1738 (1973)
E. Zamir, C. W. Werner, W. P. Lapatovich, E. V. George: Appl. Phys. Lett. 27, 56 (1975)
J. W. Keto, R. E. Gleason, G. K. Walters: Phys. Rev. Lett. 33, 1375 (1974)
O. Cheshnovsky, A. Gedanken, B. Raz, J. Jortner: Chem. Phys. Lett. 22, 23 (1973)
E. R. Ault, R. S. Bradford, M. L. Blaumik: (unpublished)
R. O. Hunter, J. Shannon, W. Hughes: Maxwell Laboratories Report MLR-378 (1975)
C. E. Turner: Appl. Phys. Lett. 31, 659 (1977)
M. H. R. Hutchinson, M. R. O. Jones: (unpublished)
W. G. Wrobel, H. Rohr, K. H. Steuer: Appl. Phys. Lett. 36, 113 (1980)
For a review see M. F. Golde: Gas Kinetics and Energy Transfer 2, 123 (1977)
J. J. Ewing, C. A. Brau: Phys. Rev. A 12, 129 (1975)
C. A. Brau, J. J. Ewing: J. Chem. Phys. 63, 4640 (1976)
J. Tellinghuisen, J. M. Hoffman, G. C. Tisone, A. K. Hays: J. Chem. Phys. 64, 2484 (1976)
J. Tellinghuisen, A. K. Hays, J. M. Hoffman, G. C. Tisone: J. Chem. Phys. 65, 4473 (1976)
J. Tellinghuisen, P. C. Tellinghuisen, G. C. Tisone, J. M. Hoffman, A. K. Hays: J. Chem. Phys. 68, 5l77 (l978)
P. C. Tellinghuisen, J. Tellinghuisen, J. A. Coxon, J. E. Velagos, D. W. Setser: J. Chem. Phys. 68, 5l87 (l978)
T. H. Dunning, Jr., P. J. Hay: Appl. Phys. Lett. 28, 649 (1976)
P. J. Hay, T. H. Dunning Jr.: J. Chem. Phys. 66, 1306 (1977)
P. J. Hay, T. H. Dunning Jr.: J. Chem. Phys. 69, 2209 (1978)
L. A. Gundel, D. W. Setser, M. A. A. Clyrre, J. A. Coxon, W. Nip: J. Chem. Phys. 64, 4390 (l976)
R. W. Waynant: Appl. Phys. Lett. 30, 234 (1977)
J. E. Velazeo, J. H. Kolts, D. W. Setser: J. Chem. Phys. 65, 3468 (1976)
D. C. Hogan, R. Bruzzese, A. J. Kearsley, C. E. Webb: J. Phys. D14, L157 (1981)
N. G. Basov, V. S. Zuev, A. V. Kanev, L. D. Mikheev, D. B. Shavrovskii: Sov. J. Quantum. Electron. 10, 1561 (1980)
C. A. Brau, J. J. Ewing: J. Chem. Phys. 63, 4640 (l975)
J. R. Murray, H. T. Powell: Appl. Phys. Lett. 29, 252 (1976)
R. Shuker: Appl. Phys. Lett. 29, 285 (1976)
G. P. Quigley, W. M. Hughes: Appl. Phys. Lett. 32, 649 (1978)
R. Burnham, S. K. Searles: J. Chem. Phys. 67, 5967 (1977)
R. Burnham, N. W. Harris: J. Chem. Phys. 66, 2742 (1977)
J. G. Eden, S. K. Searles: Appl. Phys. Lett. 30, 287 (1977)
J. G. Eden, R. W. Waynant: Opt. Lett. 2, 13 (1978)
T. H. Dunning Jr., P. J. Hay: J. Chem. Phys. 69, 134 (1979)
R. W. Waynant, J. G. Eden: IEEE J. QE-15, 61 (1978)
M. Rokni, J. H. Jacob, J. A. Mangaro, R. Brochu: Appl. Phys. Lett. 30, 458 (1977)
Yu. A. Kudryartsev, N. P. Kuzmina: Appl. Phys. 13, 107 (1977)
R. M. Hill, P. L. Trevor, D. L. Huestis, D. C. Lorents: Appl. Phys. Lett. 34, 137 (1979)
S. K. Searles, G. A. Hart: Appl. Phys. Lett. 27, 243 (1975)
W. K. Bischel, H. H. Nakano, D. J. Eckstrom, R. M. Hill, D. L. Huestis, D. C. Lorents: Appl. Phys. Lett. 34, 565 (1979)
W. B. Lacina, D. B. Cohn: Appl. Phys. Lett. 32, 106 (1978)
T. H. Johnson, A. M. Hunter: J. Appl. Phys. 51, 2406 (1980)
F. Kannari, M. Obara, T. Fujioka: J. Appl. Phys. 53, 135 (1982)
M. R. Flannery, T. P. Yang: Appl. Phys. Lett. 32, 327 (1978)
M. Rokni, J. A. Mangan, J. H. Jacob, J. C. Hsia: IEEE J. QE-14, 464 (1978)
Hao-Lin Chen, R. E. Center, D. W. Trainor, W. I. Fyfe: Appl. Phys. Lett. 30, 99 (1977)
W.-C. F. Liu, D. C. Conway: J. Chem. Phys. 60, 784 (1974)
D. Smith, P. R. Cromey: J. Phys. B 1, 638 (1968)
J. C. Cronin, M. C. Sexton: J. Phys. D 1, 863 (1969)
M. R. Flannery, T. P. Yang: Appl. Phys. Lett. 32, 356 (1978)
D. K. Bohme, N. G. Adams, M. Moselman, D. B. Dunkin, E. E. Ferguson: J. Chem. Phys. 52, 5094 (1970)
M. Rokni, J. H. Jacob, J. A. Mangano, R. Brochu: Appl. Phys. Lett. 31, 79 (1977)
L. G. Piper, J. E. Velazes, D. W. Setser: J. Chem. Phys. 59, 3323 (1973)
C.-H. Chen, M. G. Payne: IEEE J. QE-15, 149 (1979)
J. G. Eden, R. W. Waynant, S. K. Searles, R. Burnham: Appl. Phys. Lett. 32, 733 (1978)
V. H. Shui: Appl. Phys. Lett. 31, 50 (1977)
M. Rokni, J. H. Jacob, J. A. Mangano: Phys. Rev. A 16, 2216 (1977)
G. P. Quigley, W. M. Hughes: Appl. Phys. Lett. 32, 649 (1978)
A. M. Hawryluk, J. A. Mangano, J. H. Jacob: Appl. Phys. Lett. 31, 164 (1977)
R. K. Steunenberg, R. C. Vogel: J. Am. Chem. Soc. 78, 901 (1956)
A. Mandl: Phys. Rev. A3, 251 (1971)
W. J. Stevens, M. Gardner, A. Karo: J. Chem. Phys. 67, 2860 (1977)
W. R. Wadt, D. C. Cartwright, J. S. Cohen: Appl. Phys. Lett. 31, 672 (1977)
H. A. Hyman: Appl. Phys. Lett. 31, 14 (1977)
W. R. Wadt, P. J. Hay: J. Chem. Phys. 68, 3850 (1978)
J. F. Eden, R. S. F. Chang, L. J. Palumbo: J. QE-15, 1146 (1979)
A. Luches, V. Nassisi, A. Perrone, M. R. Perrone: Opt. Commun. A4, 109 (1982)
M. J. Shaw, J. D. C. Jones: Appl. Phys. 14, 393 (1977)
H. H. Michels, R. H. Hobbs, L. A. Wright: J. Chem. Phys. 71, 5053 (1979)
J. H. Kolts, J. E. Velazco, D. W. Setser: J. Chem. Phys. 71, 1247 (1979)
C. B. Collins, F. W. Lee: J. Chem. Phys. 72, 5381 (1980)
D. Kligler, H. H. Nakano, D. L. Huestis, W. K. Bishel, R. M. Hill, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 3, 39 (1978)
M. Allan, S. F. Wong: J. Chem. Phys.
W. V. Kurepa, D. S. Belic: J. Phys. B 11, 3719 (1978)
W. E. Ernst, F. K. Tittel: Appl. Phys. Lett. 35, 36 (1979)
J. D. Campbell, C. H. Fisher, R. E. Center: Appl. Phys. Lett. 37, 348 (1980)
R. Burnham: Appl. Phys. Lett. 35, 48 (1979)
C. H. Fisher, R. E. Center, G. J. Mullaney, J. P. McDaniel: Appl. Phys. Lett. 35, 26 (1979)
D. J. Eckstrom, H. C. Walker: IEEE J. QE-18, 176 (1982)
P. J. Chantry: In Applied Atomic Collision Physics, Vol. 3 Gas Lasers (Academic, New York 1982)
J. E. Velazco, J. H. Kolts, D. W. Setsir: J. Chem. Phys. 69, 4357 (1978)
W. L. Nighan, Y. Nachshon, F. K. Tittel, W. L. Wilson: Appl. Phys. Lett. 42, 1006 (1983)
D. L. Huestes, G. Marowsky, F. K. Tittel: In Excimer Lasers, 2nd ed., ed. by Ch. K. Rhodes, Topics Appl. Phys., Vol. 30 (Springer, Berlin, Heidelberg 1984) Chap. 6
F. K. Tittel, W. L. Wilson, R. E. Stickel, G. Marowsky, W. E. Ernst: Appl. Phys. Lett. 36, 405 (1980)
F. K. Tittel, G. Marowsky, M. C. Smayling, W. L. Wilson: Appl. Phys. Lett. 37, 862 (1980)
M. L. Bhaumik, R. S. Bradford, Jr., E. R. Ault: Appl. Phys. Lett. 28, 23 (1976)
R. G. Caro, M. C. Gower, C. E. Webb: J. Phys. D 15, 767 (1982)
J. Coutts, C. E. Webb: J. Appl. Phys. 59, 704 (1986)
R. S. Taylor, P. B. Corkum, S. Watanabe, K. Leopold, A. J. Alcock: IEEE J. QE-19, 416 (1983)
S. C. Lin, J. I. Leratter: Appl. Phys. Lett. 34, 505 (1979)
M. R. Osborne, P. W. Smith, M. H. R. Hutchinson: Opt. Commun. 52, 415 (1985)
J. A. Mangano, J. H. Jacob: Appl. Phys. Lett. 27, 495 (1975)
M. Casey, P. W. Smith, M. H. R. Hutchinson: Rev. Sci. Instrum. 54, 458 (1983)
J. D. Daugherty, J. A. Mangano, J. H. Jacob: Appl. Phys. Lett. 28, 581 (1976)
Lawrence Livermore National Laboratory: Laser Laboratory Annual Report-UCRL50021-80 (1980)
K. T. V. Grattan, M. H. R. Hutchinson, K. J. Thomas: Opt. Commun. 39, 303 (1981)
J. H. Jacob, D. W. Trainor, M. Rokni, J. C. Hsia: Appl. Phys. Lett. 37, 522 (1980)
T. R. Loree, K. B. Butterfield, D. L. Barker: Appl. Phys. Lett. 32, 171 (1978)
J. Boker, J. Zavelovich, C. K. Rhodes: Phys. Rev. A21, 1453 (1980)
Lambda Physik GmbH
J. N. Ross: (private communication)
J. Goldhar, J. R. Murray: Opt. Lett. 1, 199 (1977)
J. Goldhar, W. R. Rapoport, J. R. Murray: IEEE J. QE-16, 235 (1980)
J. Goldhar, M. W. Taylor, J. R. Murray: IEEE J. QE-20, 772 (1984)
M. C. Gower: Rutherford Appleton Laboratory Annual Report RL-83-043 (1983)
I. J. Bigio, M. Slalkine: Opt. Lett. 6, 36 (1981)
M. C. Gower, R. G. Caro: Rutherford Appleton Laboratory Annual Report RL-82-039 (1982)
H. Egger, T. Srinivasan, K. Hohla, H. Scheingraber, C. R. Vidal, H. Pummer, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 39, 37 (1981)
R. T. Hawkins, H. Egger, J. Boker, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 36, 391 (1980)
J. C. White, J. Bokor, R. R. Freeman, D. Henderson: Opt. Lett. 6, 293 (1981)
H. Egger, T. S. Luk, K. Boyer, D. F. Muller, H. Pummer, T. Srinivasan, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 41, 1032 (1982)
T. S. Luk, H. Pummer, K. Boyer, M. Shahidi, H. Egger, C. K. Rhodes: Phys. Rev. Lett. 51, 110 (1983)
H. Pummer, H. Egger, T. S. Luk, T. Srinivasan, C. K. Rhodes: Phys. Rev. A28, 795 (1983)
T. Srinivasan, H. Egger, H. Pummer, C. K. Rhodes: IEEE J. QE-19, 1270 (1983)
R. C. Sze, P. B. Scott: Appl. Phys. Lett. 33, 419 (1978)
C. D. Cooper, M. D. Lichtenstein: Phys. Rev. 109, 2026 (1958)
P. S. Julienne, M. Krauss, W. J. Stevens: Chem. Phys. Lett. 38, 174 (1976)
H. T. Powell, J. R. Murray, C. K. Rhodes: Appl. Phys. Lett. 25, 730 (1974)
H. T. Powell, J. R. Murray, C. K. Rhodes: IEEE J. QE-11, 27D (1975)
H. Powell: 8th Winter Colloquium on High Power Visible Lasers, Park City, Utah (1977)
Editor information
Rights and permissions
Copyright information
© 1992 Springer-Verlag
About this chapter
Cite this chapter
Henry, M., Hutchinson, R. (1992). Excimer lasers. In: Mollenauer, L.F., White, J.C., Pollock, C.R. (eds) Tunable Lasers. Topics in Applied Physics, vol 59. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/3-540-55571-4_2
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/3-540-55571-4_2
Published:
Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg
Print ISBN: 978-3-540-55571-1
Online ISBN: 978-3-540-47165-3
eBook Packages: Springer Book Archive