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Röntgenfluoreszenzanalyse mit variabler Strahlengeometrie

  • Horst Ebel
Conference paper
Part of the Mikrochimica Acta book series (MIKROCHIMICA, volume 4)

Zusammenfassung

Von den früher veröffentlichten Arbeiten1–3 ausgehend, wurde die Theorie der absoluten Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) dahingehend umgestaltet, daß eine vereinheitlichte Darstellung der Verfahren zur Bestimmung der Dicke ebener dünner Elementschichten nach dem Schichtfluoreszenzverfahren 4 und dem Trägerfluoreszenzverfahren 5 und auch der Dicke ebener dünner Mehrfachschichten6 möglich ist. Die Untersuchungen über den Einfluß der Oberflächengüte 7 und der Röntgenröhrenspannung8 sind abgeschlossen, während die Sekundäranregung9 noch Gegenstand einer umfassenden theoretischen und experimentellen Arbeit ist. Da die Dichte dünner Schichten etwas geringer ist als die des Gußkörpers gleicher Zusammensetzung, kann mittels der RFA im strengen Sinne nur die Massenbelegung dünner Schichten und nicht deren Dicke bestimmt werden, so daß ein Vergleich mit den Ergebnissen optischer Schichtdickenmessungen die Dichte10 dünner Schichten anzugeben gestattet. Weiter wurde die röntgenfluoreszenzanalytische Bestimmung der Zusammensetzung und der Massenbelegung ebener dünner Mehrkomponentenschichten behandelt11 und auf den Dünnschichtmethoden aufbauend wurden Verfahren zur Bestimmung von Massenschwächungskoeffizienten entwickelt12. Schließlich war die mit Hilfe der Variation der Strahlengeometrie meßbare mittlere Wellenlänge des zur Anregung dienenden polychromatischen Primärspektrums Gegenstand umfangreicher Versuche13.

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Copyright information

© Springer-Verlag Wien 1970

Authors and Affiliations

  • Horst Ebel
    • 1
    • 2
  1. 1.Institut für angewandte PhysikTechnischen HochschuleWienÖsterreich
  2. 2.Ludwig-Boltzmann-Institut für FestkörperphysikWienÖsterreich

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