Advertisement

Einsatz der Elektronenstrahl-Mikrosonde (Kathodenlumineszenz) zur Untersuchung halbleitender Verbindungen

  • W. Beier
  • O. Brümmer
Conference paper
Part of the Mikrochimica Acta book series (MIKROCHIMICA, volume 4)

Zusammenfassung

Zur Lösung einer Reihe von Problemen bei halbleitenden Verbindungen hat sich der Einsatz der Elektronenstrahl-Mikrosonde in Verbindung mit der Rastertechnik bewährt. Beispiele solcher Untersuchungen sind die Abbildung von p-n-Übergängen, die Bestimmung des Einflusses von Oberflächenstörungen auf die Lebensdauer der Ladungsträger und die Messung der Breite der Diffusionszone sowie im unmittelbar praktischen Einsatz die Überprüfung der Funktionsgruppen integrierter Schaltungen. Eine Bestimmung der Dotierungskonzentration kann dagegen durch die Röntgenstrahl-Mikroanalyse im allgemeinen nicht vorgenommen werden.

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur

  1. 1.
    J. W. Strange und S. T. Henderson, Proc. Physic. Soc. 58, 383 (1946).ADSCrossRefGoogle Scholar
  2. 2.
    A. Bril und H. A. Klasens, Philips Res. Rep. J. 401, 195 (1952).Google Scholar
  3. 3.
    W. Ehrenberg und J. Franks, Proc. Physic. Soc. B. 66, 1057 (1953).ADSCrossRefGoogle Scholar
  4. 4.
    P. A. Einstein, Brit. J. Appl. Physics 8, 190 (1957).ADSCrossRefGoogle Scholar
  5. 5.
    G. F. J. Garlick, Brit. J. Appl. Physics 13, 541 (1962).ADSCrossRefGoogle Scholar
  6. 6.
    J. P. Davey, X-Ray Optics and Microanalysis. Paris: Hermann. 1966. S. 566.Google Scholar
  7. 7.
    O. Brümmer, K.-H. Brauer und G. Suwalski, Z. angew. Physik 16, 27 (1963).Google Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag Wien 1970

Authors and Affiliations

  • W. Beier
    • 1
  • O. Brümmer
    • 1
  1. 1.Sektion PhysikMartin-Luther-UniversitätHalle/SaaleDeutschland

Personalised recommendations