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Reinraumanlagen für Mikroelektronik und Pharma

  • Manfred Renz
Chapter
Part of the VDI-Buch book series (VDI-BUCH)

Zusammenfassung

Zu den reinraumtechnischen Anlagen zählen insbesondere alle Systeme zur Luftaufbereitung und -förderung, wie

• Außenluftsysteme,

• Umluftsysteme,

• Fortluftsysteme.

Literatur

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Authors and Affiliations

  1. 1.DitzingenDeutschland

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