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Automation für den Reinraumbetrieb

  • Vincenzo Ciccone
Chapter
Part of the VDI-Buch book series (VDI-BUCH)

Zusammenfassung

Steuerung, Regelung und Überwachung der Reinraumumgebung haben das Ziel, die Personensicherheit und Produktsicherheit sicherzustellen. Dieses setzt voraus, dass für die jeweilige Aufgabenstellung die qualitätsrelevanten Parameter bekannt sind und mit automatisierten Systemen beherrscht werden.

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Copyright information

© Springer-Verlag GmbH Deutschland, ein Teil von Springer Nature 2018

Authors and Affiliations

  1. 1.Building Technologies GroupSiemens Schweiz AGZürichSchweiz

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