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Verhandlungen pp 278-280 | Cite as

Herstellung feiner Fräsungen mit Elektronen-Strahlen

  • F. Schleich
Chapter

Zusammenfassung

Bei den ersten praktischen Anwendungen des Verfahrens zur Materialbearbeitung mit Elektronen-Strahlen (1) war es notwendig, sich auf Aufgaben zu beschränken, die mit der etwa 100 W betragenden Leistung der uns zur Verfügung stehenden Elektronenstrahlquellen aus-führbar erschienen. Es fanden sich eine ganze Reihe auch technisch interessanter Anwendungen wie beispielsweise die Herstellung feiner Bohrungen, feiner Schlitze oder komplizierter Profilfräsungen. Bei der Ausführung solcher Bearbeitungen stellte es sich als besonders günstig heraus, einen feinen Elektronenstrahl möglichst hoher Energiedichte mit kreisförmigem Querschnitt zu erzeugen und diesen in geeigneter Weise über die zu bearbeitende Fläche zu führen. Die Materialabtragung und die dadurch erzielbare Formveränderung hängt damit nicht nur von den Eigenschaften des Elektronen-Strahles ab, sondern sie wird auch von der Art der Bewegung des Strahles über die zu bearbeitende Fläche bestimmt. Dabei ist es möglich, ohne Veränderung der Fokussierungsmittel des Elektronenstrahles, allein durch eine definiert gesteuerte Bewegung des Strahles über das Werkstück, in den angegebenen Dimensionen praktisch beliebige Bearbeitungen auszuführen. Im folgenden wird eine Apparatur zur Herstellung von solchen Elektronenstrahl-Fräsungen beschrieben.

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Literatur

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1960

Authors and Affiliations

  • F. Schleich
    • 1
  1. 1.Firma Carl ZeissOberkochenDeutschland

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