Advertisement

Verhandlungen pp 201-207 | Cite as

Über ein Elektronenmikroskop und ein Verfahren zur direkten Sichtbarmachung von isolierenden Oberflächen

  • G. Bartz
Chapter

Zusammenfassung

Es gibt heute eine ganze Reihe verschiedener Verfahren, eine Oberfläche elektronenoptisch sichtbar zu machen. Von diesen hat das Emissionsverfahren, bei dem das Objekt mit primären Elektronen beschossen wird, den Vorteil, daß die Objektbelastung relativ gering ist. Der Anwendungsbereich dieses Verfahrens ist sehr groß, da nicht nur elektronische Leiter, sondern fast alle in der Mikroskopie vorkommenden Objekte untersucht werden können.

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur

  1. 1.
    Bartz, G., G. Weissenberc U. D. Wisxott: Radex Rdsch. 4/5, 163 (1956).Google Scholar
  2. Bartz, G., G. Weissenberc U. D. Wisxott: Physik. Verh. 6, Folge 2, 19 (1955).Google Scholar
  3. 2.
    Bayh, W.: Z. Physik 180, 11 (1958).Google Scholar
  4. 3.
    Boersch, H.: Z. techn. Phys. 23, 129 (1942).Google Scholar
  5. 4.
    Möllenstedt, G., u. W. Hubic: Optik 11, 528 (1954).Google Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1960

Authors and Affiliations

  • G. Bartz
    • 1
  1. 1.Firma Ernst LeitzOpt. WerkeWetzlar/LahnGermany

Personalised recommendations