Advertisement

Verhandlungen pp 184-187 | Cite as

Ein Hilfselektronenmikroskop für Kurs- und Routinebetrieb

  • K. Müller
  • E. Ruska
Chapter

Zusammenfassung

Wir bauten ein einfaches Mikroskop, das für eine große Zahl von Routinearbeiten und zu Ausbildungszwecken verwendet werden kann. Abb. 1 zeigt einen Querschnitt durch das Mikroskoprohr (alle hinter Konstruktionsdetails genannten Zahlen sind Hinweise auf Abb. 1): Als Strahlquelle wählten wir eine Gasentladungskathode nach Innrni (1). Sie hat einige, für die Vereinfachung des Gerätes wesentliche Vorteile gegenüber dem meist verwendeten Glühkathodenrohr: erstens benötigt sie weder einen Heizstromkreis noch eine Wehneltvorspannung, zweitens sind die Anforderungen an den Vakuumzustand des Gerätes geringer, und drittens ist die Lebensdauer größer als die einer Haarnadelkathode. Die Kathode, deren wesentlicher Teil 1 auswechselbar ist, ist durch Kittung mit dem tragenden Isolator 2 verbunden. Die Hochspannung von 50 kV wird durch ein Kabel 3 mit geerdetem Mantel berührungssicher eingeführt. Strahlrohr-Gehäuse 4 und -Grundplatte 5 bilden die Anode. Die Entladung brennt nur zwischen dem Scheitelpunkt der halbkugelförmigen Kathode und der Anodenbohrung. Die Zentrierung der Kathode zur Anode erfolgt während des Betriebes durch Horizontalverschiebung 6 in rechtwinkligen Koordinaten. Bei Entladungsstromstärken zwischen 10 und 120 µA beträgt der Druck im Entladungsraum 1–2. 10−2 Torr. Die Helligkeit ändert sich in diesem Bereich um den Faktor B. Druck und Stromstärke werden durch ein Nadelventil 7 nach Ewald (2) reguliert, das Luft in den Raum unterhalb der Anode eintreten läßt. Neuerdings verwenden wir statt dessen ein MetallcapillarVentil nach Fowler (3). Entladungsrohr und Lufteinlaßraum werden von dem übrigen Teil des Mikroskops und der Vakuumpumpe durch eine Scheibe 8 mit einer exzentrisch gelegenen, engen Bohrung getrennt, die ein Druckgefälle zwischen Strahlrohr und Abbildungsraum ermöglicht. Die Scheibe enthält außerdem eine Strahlbegrenzungsblende, die eine unnötig große Erwärmung von Objekt und Objekttisch verhindert.

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur

  1. 1.
    Induni, G.: Hely. phys. Acta 20, 463 (1947).Google Scholar
  2. 2.
    Ewald, H.: Z. Naturforsch. 5 a, 230 (1950).Google Scholar
  3. 3.
    Fowler, R. D.: Rev. scient. Instrum. 6, 26 (1935).ADSCrossRefGoogle Scholar
  4. 4.
    Everding, H.: Dieser Band, 6. 160.Google Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1960

Authors and Affiliations

  • K. Müller
    • 1
  • E. Ruska
    • 1
  1. 1.Institut für Elektronenmikroskopie am Fritz-Haber-InstitutMax-Planck-GesellschaftBerlin-DahlemDeutschland

Personalised recommendations