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Verhandlungen pp 162-165 | Cite as

Meßgeräte zur Untersuchung der Schwankungen von Hochspannung und Linsenstrom beim Elektronenmikroskop mit elektromagnetischen Linsen

  • A. Engel
  • H. Everding
  • O. Wolff
Chapter

Zusammenfassung

Beim Elektronenmikroskop mit magnetischen Linsen ist die Brechkraft der Elektronenlinsen bekanntlich von der Beschleunigungsspannung und von der Induktion im Luftspalt der Linse abhängig. Für ein hochleistungsfähiges Elektronenmikroskop, dessen praktische Auflösung zwischen 6 und 10 Å liegt, dürfen Beschleunigungsspannung und Objektivlinsenstrom innerhalb der sog. „Aufnahmezeit“ höchstens um Beträge von (3 bis 1) · 10−5 schwanken. Diese Bedingung stellt hohe Ansprüche an die Güte der Regelschaltungen sowohl für die Beschleunigungsspannung als auch für den Linsenstrom. Es war daher notwendig, zur Prüfung der Hochspannung und Linsenstromquellen geeignete Prüfgeräte zu entwickeln. Diese Arbeiten wurden parallel zur Entwicklung der Elektronik zum Elmiskop I in den Laboratorien der Siemens & Halske AG durchgeführt. Da die schreibenden Geräte in erster Linie die Schwankungen der Quellen aufzeichnen sollten, wurden sie als technische Kompensatoren ausgeführt.

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1960

Authors and Affiliations

  • A. Engel
    • 1
  • H. Everding
    • 2
  • O. Wolff
    • 1
  1. 1.Wernerwerk für Meßtechnik der Siemens & Halske AGGermany
  2. 2.Institut für Elektronenmikroskopie am Fritz-Haber-Institut der Max-Planck- GesellschaftBerlinGermany

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