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Verhandlungen pp 154-157 | Cite as

Neue Gesichtspunkte bei der Gestaltung von Hochvakuumanlagen in der Elektronenmikroskopie

  • R. A. Haefer
Chapter

Zusammenfassung

An Hochvakuumanlagen für den Chargen- und Routinebetrieb stellt man heutzutage die Forderungen nach möglichst kurzer Pumpzeit und möglichst einfachem Aufbau der Anlage. In besonderen Fällen, z. B. in der Elektronenmikroskopie, gesellt sich zu diesen Forderungen noch als dritte diejenige der Freiheit von Vibrationen, wie sie von der rotierenden Pumpe übertragen werden können. Hochvakuumanlagen, die diese Forderungen weitgehend erfüllen, sind in der letzten Zeit für die verschiedensten Zwecke bei uns entwickelt worden, und es soll daher durch Erläuterung von einigen dabei gemachten Erfahrungen die Frage diskutiert werden, inwieweit diese Erfahrungen auch in der Elektronenmikroskopie nutzbar gemacht werden können.

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Literatur

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1960

Authors and Affiliations

  • R. A. Haefer
    • 1
  1. 1.Balzers Gerätebau-AnstaltLiechtensteinDeutschland

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